Les réchauffeurs de graphite Semicorex pour zone chaude, conçus pour fonctionner de manière fiable dans des fours à haute température, sont conçus pour résister aux conditions difficiles inhérentes aux processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l'épitaxie et le recuit à haute température. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des radiateurs en graphite haute performance pour zones chaudes qui allient qualité et rentabilité.**
Distribution homogène de la température :Le radiateur en graphite pour zone chaude est réputé pour ses caractéristiques de chauffage uniformes, obtenues grâce à une combinaison de traitement méticuleux des matériaux et d'usinage de précision. Cette homogénéité garantit un profil de température constant sur toute la surface de chauffage, minimisant ainsi les gradients thermiques qui peuvent conduire à un traitement inégal des plaquettes, à une réduction du rendement et à des performances incohérentes du dispositif.
Résistance exceptionnelle à la corrosion :Le radiateur en graphite pour zone chaude démontre une résistance remarquable à une variété de gaz corrosifs et de produits chimiques couramment rencontrés dans le traitement des semi-conducteurs à haute température. Cette inertie inhérente garantit la stabilité et les performances du réchauffeur à long terme, minimisant les risques de contamination et prolongeant la durée de vie opérationnelle.
Résistance supérieure à l’oxydation :Contrairement au graphite conventionnel, le graphite Heater For Hot Zone présente une résistance supérieure à l’oxydation, même à des températures élevées. Cette caractéristique est cruciale pour maintenir l’intégrité du réchauffeur et empêcher la formation de contamination particulaire dans la chambre de traitement.
Pureté chimique ultra élevée :Le radiateur en graphite pour zone chaude est traité pour atteindre des niveaux de pureté ultra-élevés, minimisant ainsi le risque d'introduction de contaminants indésirables dans l'environnement de traitement des semi-conducteurs. Cette pureté exceptionnelle est essentielle pour maintenir l’intégrité des matériaux semi-conducteurs délicats et garantir les propriétés électriques et optiques souhaitées des dispositifs fabriqués.
Haute résistance mécanique et stabilité :Le radiateur en graphite pour zone chaude possède une splendide résistance mécanique et une stabilité dimensionnelle à des températures élevées, permettant la fabrication de composants de chauffage robustes capables de résister aux rigueurs d'un fonctionnement à haute température, y compris les cycles thermiques et les contraintes mécaniques.