Cassette de plaquettes horizontale

Propriétés des matériaux

La cassette de plaquettes horizontale Semicorex est un outil essentiel dans l'industrie des semi-conducteurs pour protéger et manipuler les plaquettes à différentes phases de production. Souvent appelées porte-plaquettes, ces cassettes sont conçues pour contenir et déplacer plusieurs plaquettes de même taille. Ils garantissent d'excellentes performances dans diverses conditions de production en répondant aux exigences spécifiques des processus, telles que le traitement thermique, et sont disponibles dans une large gamme de matériaux.

Divers choix de matériaux

Les cassettes de plaquettes horizontales sont disponibles dans une variété de matériaux hautes performances pour répondre aux diverses exigences de la fabrication de semi-conducteurs. Ceux-ci offrent une résistance chimique et une stabilité thermique exceptionnelles et comprennent le PVDF, l'ECTFE Halar, le PFA Téflon et le PTFE Téflon. Les options en acier inoxydable comme 304L et 316 sont recommandées pour les applications nécessitant une résistance mécanique et une résistance à la corrosion accrues. Le polypropylène naturel est également utilisé en raison de ses caractéristiques économiques et légères, qui permettent une flexibilité d'application tout en préservant l'intégrité de la procédure de manipulation des plaquettes.

Caractéristiques de la conception avancée

Avec des caractéristiques qui peuvent être ajustées pour répondre à certaines exigences opérationnelles, les cassettes de plaquettes horizontales sont minutieusement construites. Il s'agit de profils d'ouverture latérale, de points de contact du substrat, du pas et de l'espacement du substrat, ainsi que de tailles et de formes pouvant être modifiées. Leur adaptabilité dans une variété de processus est augmentée par leur polyvalence dans l'orientation du substrat et leur capacité à gérer une gamme de tailles de substrat. De plus, des fonctionnalités d'automatisation et des capacités de manipulation de cassettes, telles que des poignées amovibles pour plus de commodité, peuvent être ajoutées à ces cassettes.

Applications

Dans la fabrication de semi-conducteurs, l'utilisation de cassettes de tranches horizontales est essentielle pour garantir la manipulation sûre et efficace des tranches dans diverses procédures.

Les cassettes de plaquettes horizontales sont fabriquées à partir de matériaux robustes et de haute qualité et offrent une défense solide contre les dommages physiques et la contamination, deux problèmes majeurs dans le domaine des semi-conducteurs. L'architecture des cassettes protège les plaquettes fragiles pendant le stockage et le transport en réduisant l'exposition à tout contaminant.

Nettoyage et séchage améliorés

De meilleurs résultats de lavage et de séchage sont rendus possibles grâce à l'immense zone d'ouverture dans la conception des cassettes de plaquettes horizontales. Cette caractéristique est cruciale pour préserver la propreté des plaquettes, ce qui réduit le risque de défauts et améliore le calibre des dispositifs semi-conducteurs finis.

Efficacité du flux et du traitement des produits chimiques

Afin de minimiser les points de piégeage de matériaux et de maximiser la dynamique d'écoulement des produits chimiques, des cassettes de tranches horizontales sont conçues. Pour améliorer le flux chimique et garantir une couverture complète et un traitement efficace dans les bains chimiques, un certain nombre de fonctionnalités supplémentaires peuvent être ajoutées.

Transport et alignement sécurisés des plaquettes

La conception de la cassette de plaquettes horizontale se caractérise par un alignement précis des plaquettes, qui garantit que les plaquettes sont fermement maintenues en position pendant le transport. Cela réduit le risque de rupture ou de désalignement, ce qui pourrait entraîner des défauts coûteux ou des retards dans le processus. La manipulation des plaquettes doit être effectuée en toute sécurité afin de préserver l'intégrité du processus de fabrication des semi-conducteurs.

Efficacité du flux de travail et ergonomie

Les cassettes de plaquettes horizontales sont faciles à utiliser et efficaces grâce à leur conception ergonomique, qui rationalise la procédure de chargement et de déchargement. Dans les salles blanches, cette simplicité d’utilisation améliore l’efficacité du flux de travail, permettant des processus plus efficaces et réduisant le temps de traitement. Les fabricants de semi-conducteurs peuvent accroître leur efficacité et respecter des normes de propreté strictes en simplifiant ces procédures.