Injecteur d'allumage

L'injecteur d'allumage semicoréx, ou réacteur d'allumage en quartz, est un composant conçu destiné à permettre des processus chimiques de haute pureté qui nécessitent un allumage ou un initiation de réaction. Fabriqué en quartz fusionné, l'injecteur d'allumage combine les meilleures propriétés du quartz fusionné (stabilité thermique, résistance chimique et tolérance aux inexactitudes structurelles) pour fournir une utilisation prévisible dans les applications de semi-conducteur et de recherche. L'utilisation de l'injecteur d'allumage est essentielle dans les processus qui permettent l'allumage des vapeurs de gaz ou des composés réactifs sans possibilité de contamination afin de fournir une sécurité et une précision dans des applications extrêmes.

Le quartz a été sélectionné pour l'injecteur d'allumage au motif que le quartz fournit les niveaux les plus élevés de pureté et d'inertie comme matériau. Les métaux et les céramiques conventionnels peuvent être de grande pureté, mais ils ne sont pas inertes et peuvent introduire des contaminants de traces, par conséquent, il est difficile de mener des processus sensibles sans possibilité de contamination ou de modification des observations analytiques. Le quartz est largement considéré comme un matériau idéal lorsque le choc thermique peut être toléré, en particulier pour les environnements d'allumage où des changements de température rapides peuvent être attendus en raison de conditions d'allumage inattendues. Tout aussi important; Le quartz survit aux produits chimiques agressifs pour prévenir les interférences ou les dommages dus à des gaz ou à l'énergie corrosifs de la réaction dans un environnement d'utilisation à long terme.

L'injecteur d'allumage est conçu pour servir de zone de réaction localisée, offrant un environnement propre et contrôlé pour créer des réactions à base de combustion ou de plasma. Ceci est utile dans le secteur de la fabrication de semi-conducteurs, dans lequel les réacteurs d'allumage peuvent avoir besoin d'activer les gaz précurseurs, de décomposer des espèces chimiques complexes ou d'initier des étapes de nettoyage assistées par plasma. La propreté des parois du réacteur garantit que les réactions secondaires indésirables entre la chambre et les réactifs peuvent ne pas influencer négativement la réaction et peuvent donc fournir un contrôle précis de la réaction chimique. La transparence optique du quartz offre des capacités de surveillance optique en temps réel pour observer la zone de réaction, complètement sans obstacle, ce qui est avantageux dans les travaux ou la production expérimentales.

Parallèlement aux éléments chimiques et thermiques, l'injecteur d'allumage est favorisé en raison de sa faciliation dans des objets fabriqués précisément. Étant donné que le composant est fabriqué des dimensions avec une tolérance élevée, il peut également s'adapter facilement directement aux réacteurs et s'intégrer aux systèmes existants ou être conçu pour être approprié pour la disposition d'un outil ou d'outils spécifiques. Les surfaces lisses non poreuses du réacteur de quartz intérieur sont bénéfiques pour réduire la fixation des particules pour un nettoyage facile, car les couches de matériau attachées aux surfaces intérieures de la chambre seront un cycle cohérent après le cycle en raison de la réutilisabilité du composant. Il aide à réduire les coûts et à améliorer l'efficacité des processus, ce qui est très pertinent pour les opérations de fabrication à volume élevé.