Tube de guidage intérieur

Le tube de guidage intérieur Semicorex est un matériau conçu avec précisioncomposant carbone/carbone (C/C)conçu pour les applications avancées de champ thermique à haute température, en particulier dans la croissance de cristaux de silicium de haute pureté. En tant qu'élément essentiel des fours de croissance cristalline, ce composant joue un rôle central dans la formation et la stabilisation du gradient thermique, garantissant ainsi une formation optimale des cristaux et une qualité constante des matériaux.

Fabriqué à partir de composite de carbone renforcé de fibres de carbone haute densité, le tube de guidage intérieur offre une intégrité structurelle et une stabilité thermique exceptionnelles dans des conditions extrêmes. Avec une densité ≥1,35 g/cm³ et une résistance à la flexion ≥110 MPa, il conserve une robustesse mécanique même lors d'une exposition prolongée à des températures élevées. Ces propriétés sont essentielles dans la production de silicium de qualité semi-conducteur, où même des fluctuations mineures des conditions thermiques peuvent affecter de manière significative l'uniformité des cristaux et les taux de défauts.

Fonctionnalité de base : contrôle de gradient de précision

Le rôle principal du tube de guidage intérieur C/C est de construire un champ de température de gradient précis. Pendant le processus de croissance des cristaux de silicium, il est positionné directement au-dessus de la masse fondue pour :

Flux de gaz direct : il guide le flux de gaz argon inerte, garantissant que les vapeurs d'oxyde de silicium (SiO) sont efficacement balayées de la surface fondue, empêchant ainsi la contamination par l'oxygène dans le cristal.

Blindage thermique : il protège le cristal en croissance du rayonnement thermique direct des parois du creuset, établissant le gradient de température axial abrupt nécessaire à l'extraction de cristaux à grande vitesse et de haute qualité.

Efficacité énergétique : en concentrant la chaleur dans la zone de fusion et en isolant les composants supérieurs du four, la consommation totale d'énergie est considérablement réduite.

Spécifications techniques et excellence des matériaux

Nos tubes de guidage intérieurs sont fabriqués à haute densitéComposites carbone/carbone, offrant une alternative supérieure au graphite traditionnel. Les propriétés du matériau sont optimisées pour les conditions extrêmes des fours sous vide à semi-conducteurs :

Densité : ≥ 1,35 g/cm³

Résistance à la flexion : ≥ 110 MPa

Coefficient de dilatation thermique (CTE) : ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Conductivité thermique (température ambiante) : ≤ 10 W/(m·K)

Industrie

À mesure que l’industrie s’oriente vers des tranches de plus grande taille (300 mm et 450 mm), les exigences en matière de domaine thermique augmentent de façon exponentielle. Nos tubes de guidage intérieurs sont compatibles avec les principales marques de fours CZ et peuvent être personnalisés en termes de géométrie et de revêtement.