Revêtement dans le domaine thermique de monocristaux de silicium semi-conducteur

Les pièces revêtues dans un champ chaud monocristallin de silicium semi-conducteur sont généralement revêtues par un procédé CVD, y compris un revêtement de carbone pyrolytique,Revêtement en carbure de siliciumetRevêtement en carbure de tantale, chacun avec des caractéristiques différentes.

Points communs : les substrats sont en graphite isostatique de haute pureté, généralement moins de 5 ppm de cendres ; le revêtement est utilisé selon la méthode CVD ; le revêtement est essentiellement composé à 100 % de carbone ou de carbure de silicium ; après le revêtement, la surface est relativement dense, le gaz, en particulier la vapeur de silicium du four ou le gaz d'oxyde de silicium, peut fondamentalement être bloqué ; sa propre volatilisation des poussières est également très faible.

Différences : l'épaisseur standard du revêtement, le revêtement de carbone pyrolytique est généralement d'environ 40 um ; Le revêtement en carbure de silicium est généralement effectué à environ 100 um, mais selon les différents besoins des clients, il peut être effectué à 30 um ~ 150 um, comprenant un revêtement et deux revêtements ; le revêtement en carbure de tantale est généralement de 35 ± 15 um.

Revêtement de carbone pyrolytique, sa densité est équivalente à celle du graphite non poreux, qui est d'environ 2,2. Il a une faible résistivité et une conductivité thermique élevée dans la direction parallèle de la surface, de sorte qu'il peut maintenir la cohérence de la température de surface, et il a également un faible coefficient de dilatation thermique et un module d'élasticité élevé. Dans la direction perpendiculaire à la surface, le coefficient de dilatation thermique est plus grand et la conductivité thermique est plus faible.

Pour les produits revêtus de carbure de silicium, le module élastique du revêtement est très élevé, des dizaines de fois supérieur au module élastique du substrat interne en graphite, donc afin d'éviter la rupture du produit, il doit être manipulé avec douceur.

Le revêtement de carbone pyrolytique et le revêtement de carbure de silicium de toute la teneur en impuretés sont inférieurs à 5 ppm, là où la teneur en élément métallique principal est inférieure à 0,1 ou 0,01 ppm, le plus difficile à traiter avec l'élément bore est de 0,01 ou 0,15 ppm.

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