La structure du mandrin électrostatique (ESC)

UnMandrin électrostatique (ESC)est un dispositif utilisé pour maintenir les tranches semi-conductrices en place pendant des processus tels que la gravure, le dépôt ou le polissage. Il fonctionne en générant un champ électrostatique pour attirer et maintenir solidement la plaquette sur la surface du mandrin, offrant ainsi stabilité et alignement précis lors de la manipulation de la plaquette. Les ESC sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs pour améliorer la précision des processus et l'efficacité de la manipulation des plaquettes.

L'image réelle d'un conventionnelmandrin électrostatique (ESC)est représenté sur la figure. La principale différence entre les modèles réside dans le matériau de la couche isolante à la surface du mandrin électrostatique. Sur la figure, la couleur foncée représente le nitrure d’aluminium, tandis que la couleur blanche représente l’oxyde d’aluminium. La structure dumandrin électrostatiquese compose de plusieurs parties :

1. **Couche isolante** : Cette couche est en contact avec la plaquette, généralement fabriquée à partir de céramique de nitrure d'aluminium ou d'oxyde d'aluminium en raison de leur excellente résistance mécanique, de leur résistance aux températures élevées et de leur bonne conductivité thermique.

2. **Broche d'éjection et trou de gaz He** : La broche d'éjection est conçue pour transférer la plaquette. Lorsque la tranche entre dans la chambre de gravure, la broche d'éjection se lève pour la soutenir, puis s'abaisse pour placer la tranche sur la surface du mandrin électrostatique. La broche d'éjection a généralement une structure creuse, permettant à l'hélium gazeux d'être introduit pour aider à refroidir la tranche.

3. **Back He Flow Channel** : Ce composant améliore la dissipation thermique et facilite l'adsorption de la plaquette.

4. **Électrode électrostatique** : Cette électrode génère un champ électrique qui crée la force électrostatique nécessaire pour maintenir la plaquette en place. Généralement, l'électrode est plane et est soit intégrée, soit déposée sur le matériau isolant. Les matériaux conducteurs couramment utilisés comprennent l'aluminium, le cuivre et le tungstène.

5. **Circulation d'eau de refroidissement et électrode chauffante** : Ces éléments sont principalement responsables du contrôle global de la température du mandrin électrostatique. L'électrode chauffante et l'eau de refroidissement en circulation fonctionnent en tandem pour maintenir une température stable pour la tranche. S'appuyer uniquement sur la circulation de l'eau de refroidissement peut conduire à une incapacité à gérer la chaleur générée pendant le processus de gravure, compromettant potentiellement la stabilité du processus.  

Semicorex offre des produits de haute qualitéMandrin électrostatique (ESC). Si vous avez des questions ou avez besoin de détails supplémentaires, n'hésitez pas à nous contacter.

Téléphone de contact # +86-13567891907

Courriel : sales@semicorex.com