Bateau en graphite solaire PECVD

SemicorexBateaux en graphite solaire PECVDsont fabriqués avec précision à partir de haute puretégraphite isostatique. Chaque bateau en graphite solaire PECVD de Semicorex est soumis à un usinage précis, à une inspection dimensionnelle et à des tests de performances électriques pour garantir des performances stables dans les environnements plasma à haute température.

Pendant le traitement PECVD, le bateau en graphite solaire PECVD transporte des tranches de silicium dans la chambre de réaction PECVD et sert d'électrode connectée à l'alimentation RF. Lorsqu'une tension alternative est appliquée entre les plaques adjacentes du bateau, un champ électrique est établi. Sous l'influence du champ électrique, les gaz réactifs (tels que le silane SiH₄ et l'ammoniac NH₃) subissent une décharge luminescente et génèrent du plasma. Les ions et les radicaux libres présents dans le plasma décomposent les gaz précurseurs, formant des ions silicium (Si) et azote (N). Ces ions se combinent pour former des molécules de nitrure de silicium (Si₃N₄), qui sont ensuite déposées à la surface de la plaquette de silicium pour former des films minces.

1. Stabilité thermique exceptionnelle

Avec un coefficient de dilatation thermique proche de celui des plaquettes de silicium, SemicorxBateau en graphite solaire PECVDsubit un changement dimensionnel négligeable lors du chauffage, ce qui évite de manière fiable les dommages induits par les contraintes thermiques sur les tranches.

2. Conductivité électrique et thermique supérieure

Les bateaux en graphite solaire Semicorex PECVD ont une excellente conductivité électrique, assurant une conduction rapide du courant RF et une distribution uniforme du champ électrique, ce qui est bénéfique pour la génération de plasma stable et le dépôt uniforme de tranches de silicium. De plus, sa conductivité thermique supérieure facilite un refroidissement et un chauffage rapides, améliorant ainsi l'efficacité de la production tout en empêchant une surchauffe localisée d'affecter la qualité du dépôt.

3. Forte stabilité chimique

Grâce à l'utilisation d'un matériau de première qualité, le bateau en graphite solaire Semicorex PECVD est moins sujet aux réactions avec les gaz réactifs et le plasma. Cette caractéristique empêche considérablement la répartition inégale du champ électrique provoquée par la corrosion, la déformation ou le dépôt d'impuretés dans la nacelle en graphite, garantissant ainsi la stabilité du processus de dépôt et la qualité de surface des tranches de silicium.

4. Résistance mécanique exceptionnelle

Grâce à sa résistance mécanique exceptionnelle, le bateau en graphite solaire Semicorex PECVD peut facilement supporter le poids de charges de plaquettes de grand volume. Ils peuvent résister longtemps aux contraintes mécaniques générées lors du chargement et du transport sans se déformer ni se casser facilement.

5. Excellente cohérence dimensionnelle

Le bateau en graphite solaire Semicorex PECVD atteint une précision dimensionnelle exceptionnelle sur tous les composants grâce à un usinage de précision. Il maintient la plaquette de silicium dans une position fixe pendant le dépôt, ce qui garantit un dépôt uniforme et une compatibilité avec la production automatisée.