Porteurs de plaquettes PFA

Semicorex PFAPorte-avionssont des transporteurs haute performance conçus pour la manipulation, le stockage et le transport en toute sécurité des plaquettes de semi-conducteurs dans un environnement ultra-nettoyé. La fabrication de semi-conducteurs avancés garantit que les porteurs de plaquettes PFA offrent une résistance chimique inégalée, une stabilité thermique et un contrôle des particules à partir de l'intégrité et de la propreté des plaquettes pendant la fabrication jusqu'aux tests finaux.

Fabriquées à partir de nouveaux PFA, ces porteurs de plaquettes présentent une grande résistance aux produits chimiques durs comme les acides forts, les bases et les solvants généralement utilisés dans le nettoyage et la gravure des plaquettes. Les propriétés de la lixiviation et de la dentelle des ions très faibles de la PFA en font le matériau préféré pour les tâches importantes de la salle blanche, où même de minuscules quantités de contaminants peuvent affecter les rendements des appareils.

Les porteurs de plaquettes PFA sont fabriqués dans des chambres propres et travaillent avec la classe 1 (ISO Classe 3) Normes de salle propre. La surface lisse et antiadhésive du PFA minimise la génération et l'adhésion des particules, empêchant la contamination des résidus ou des particules. De plus, la nature hydrophobe de PFA facilite le rinçage approfondi et le séchage rapide, réduisant davantage le risque de contamination croisée pendant les étapes de traitement humide.

Chaque transporteur de plaquette PFA est conçu précisément pour s'assurer sûr et même le soutien des plaquettes pendant le déplacement et le maintien. Les emplacements rainurés aident les tranches avec peu de contact, réduisant le stress et l'écaillage sur les bords des plaquettes. Les transporteurs se présentent sous de nombreuses formes pour s'adapter à différentes tailles de plaquettes qui comprennent 100 mm, 150 mm, 200 mm et 300 mm de diamètre. Les sommets en option et les voies de verrouillage serrées offrent une sécurité supplémentaire contre les chocs aux marchandises, aux vibrations et à l'exposition à l'environnement.

En raison de l'excellente résistance thermique de la PFA jusqu'à 260 ° C, il est compatible avec des processus à haute température tels que la diffusion, l'oxydation et le dépôt chimique de vapeur CVD. Le support conserve son intégrité structurelle sous cyclisme thermique répété et convient donc aux environnements de traitement par lots et automatisés.

Les porteurs de plaquettes PFA ont des applications larges dans le nettoyage des plaquettes, la gravure humide, la photolithographie CMP et d'autres processus frontaux et back-end dans la fabrication IC. Leur conception robuste et leur pureté les rendent idéaux pour une utilisation dans les Fabs, les laboratoires de R&D et les équipements OEM nécessitant des protocoles de contrôle de contamination stricts.

PersonnaliséPorteurs de plaquettes PFAPeut être développé pour répondre aux exigences d'automatisation spécifiques, y compris la manipulation robotique, les systèmes de suivi et le transport vertical / horizontal. Les transporteurs sont entièrement compatibles avec des équipements de manutention standard et des outils de fabrication de semi-conducteurs.