Les cassettes à gaufrettes PFA semicorex sont des transporteurs de haute pureté conçus pour assurer une manipulation sûre et sans contamination des plaquettes de semi-conducteur pendant le traitement, le stockage et le transport humides. Le choix des garanties semicorex non seulement la qualité supérieure du matériau PFA mais aussi l'ingénierie de précision qui offre la fiabilité, la propreté et les performances à long terme dans les environnements de fabrication avancés. *
Les cassettes à gaufrette PFA semicorex sont des transporteurs conçus qui sont conçus pour gérer, stocker et transférer des plaquettes de semi-conducteur en toute sécurité dans des applications de fabrication avancées. Ces cassettes sont construites à partir de polymère perfluoroalkoxy de haute pureté (PFA) et présentent la résistance chimique, la stabilité thermique et la durabilité mécanique requises dans les applications de nettoyage humide, de traitement chimique et de transport de plaquettes. Les plaquettes restent protégées contre la contamination, les dommages mécaniques et les attaques chimiques dans les étapes de transport critique de la plaque dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.
L'utilisation du PFA comme matériau principal pour ces cassettes de plaquettes est un changement significatif par rapport aux porteurs de polymère traditionnels. Le PFA a une résistance supérieure à de nombreux acides, bases et solvants agressifs communs dans les étapes de nettoyage du processus humide (c'est-à-dire le nettoyage RCA, SC1, SC2) généralement associé à la fabrication de semi-conducteurs. L'inertie chimique de la PFA garantit que les plaquettes ne seront pas exposées à la contamination qui fuyait le porteur lui-même, de sorte que les défauts ne résultent pas du manque d'intégrité du processus. De plus, être capable de résister à des températures élevées permet aux cassettes de soutenir les processus impliquant des bains chimiques chauds ou des rinçages d'eau ultrapure chauds avec des performances stables et fiables.
Cassettes PFA Wafersont conçus avec des surfaces lisses de précision qui ne sont pas poreuses pour minimiser l'adhésion aux particules et permettre le nettoyage. Les cassettes de plaquettes atteignent des niveaux de propreté élevés aux Fabs d'aujourd'hui où même la contamination par le submicron peut entraîner une perte de rendement ou une défaillance de l'appareil. Le type de contours internes lisses réduit les rayures des surfaces de plaquettes délicates et permettent un drainage ordonné de liquides après un traitement humide pour empêcher une suspension de résidus chimiques de rester ou de toucher les plaquettes tout en augmentant la consistance du processus et une réduction du besoin de nettoyage des efforts une deuxième fois.
Un autre avantage majeur des cassettes PFA Wafer est la précision dimensionnelle et la stabilité structurelle. Le processus de fabrication de cassettes nécessite des tolérances plus strictes que ce qui est normalement prévu, ce qui permet à la cassette de contenir fermement des plaquettes de manière à ce qu'il n'y ait pas de changement de déplacement ou de contacts indésirables des plaquettes pendant le transfert. Les cassettes sont en position de position ou de manière stable, que ce soit pour la manipulation manuelle ou pendant les systèmes de transport automatisées. Les cassettes de plaquettes PFA se conformeront précisément aux éruptions physiques standard associées aux systèmes de manutention et de transport standard de l'industrie. La fiabilité des services longue et utile associée aux cassettes de plaquettes PFA augmente la valeur de l'investissement à mesure que le PFA peut résister à la réutilisation après des expositions chimiques, de cyclisme thermique et mécaniques répétées.
Les cassettes PFA Wafer sont des actifs précieux non seulement dans le traitement chimique humide pour protéger les plaquettes, mais pour le stockage et le transport. Ils sont construits avec des matériaux inertes pour garder les plaquettes propres pendant le processus de refroidissement, et leur durabilité devrait limiter les puces de casse et de bord de l'emballage et du transport. Les cassettes PFA Wafer sont importantes pour les FAB semi-conducteurs ainsi que pour les laboratoires de recherche, la fabrication photovoltaïque et d'autres industries nécessitant une manipulation de la plaquette de haute pureté.
Cassettes PFA Waferapportez également une durabilité et un coût par utilisation favorables. Les matériaux de construction sont résistants à des attaques chimiques et faciles à nettoyer afin qu'ils soient réutilisables, abaissent les déchets et les jetables et encourageant une utilisation répétée pour réduire les dépenses opérationnelles à long terme. Notation de la rupture commune d'une tranche en cas de contamination, de diminution des événements de contamination et de la perte de plaquette augmentera le rendement et diminuera la défectivité. La perte de rendement et l'augmentation de la défectivité en toile sont des facteurs majeurs de l'ontologie sur la compétitivité d'une opération de fabrication de semi-conducteurs.