Tube de four à quartz

Les tubes de four à quartz Semicorex, les bateaux à plaquettes, les creusets à quartz pour la croissance de monocristaux de silicium sont tous fabriqués à partir de matériaux de haute puretématériau de quartzl. Le quartz est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, le quartz de haute pureté est le consommable important dans la fabrication des plaquettes. Le principal marché cible des pièces en quartz dans le domaine des semi-conducteurs est le processus de diffusion et de gravure dans la fabrication des plaquettes, qui peut être divisé en deux catégories principales : les pièces à haute température et les pièces à basse température.

1. Les pièces à haute température sont le tube de four à quartz, le bateau à plaquettes, le support de bateau, etc. Ils doivent entrer en contact directement ou indirectement avec la plaquette de silicium dans un environnement à haute température, sont principalement constitués de verre de quartz fondu, produit par traitement thermique.

2. Les pièces à basse température sont des anneaux de quartz en cours de gravure, ainsi que des cassettes et des réservoirs de nettoyage en cours de nettoyage. Ils sont principalement utilisés dans un environnement à basse température, et sont principalement constitués de verre de quartz fondu, produit par traitement à froid.

Les composants de la zone à haute température sont consommés plus rapidement, mais ils sont généralement utilisés dans les systèmes multi-wafers (un support contenant plusieurs tranches de silicium), tandis que les composants de la zone à basse température sont consommés plus lentement, mais ils sont utilisés dans les systèmes à une seule tranche (un support contenant une tranche de silicium) ; par conséquent, la taille globale du marché pour les deux est relativement similaire.

Le four est la zone dans laquelle les tranches subissent un processus de chauffage à haute température, composé d'un tube de four à quartz, d'un réacteur et de plusieurs appareils de chauffage, il est largement utilisé dans les processus de diffusion, d'oxydation et RTP dans le traitement des semi-conducteurs. Le four est principalement divisé en types horizontaux et verticaux :. Dans un four horizontal, les tranches sont placées sur un bateau en quartz, lui-même placé sur un support SiC. Il existe également des déflecteurs adaptatifs à l’avant et à l’arrière. Le support est poussé dans le tube du four à quartz et les tranches subissent la réaction dans une zone à température constante. Dans un four vertical, les tranches sont placées sur une tour de quartz puis lentement remontées dans le tube du four à quartz pour être traitées.

En raison des températures élevées impliquées dans les processus ci-dessus, pour éviter une déformation grave et un effondrement du tube du four à quartz après une utilisation répétée et prolongée, un tube de four à quartz résistant à la déformation et à l'effondrement et ayant une longue durée de vie doit être utilisé pendant la production.

Voici les avantages dequartztube de four :

1. Résistance aux hautes températures. Le verre de quartz a un point de ramollissement d'environ 1 730 ℃ et peut être utilisé pendant de longues périodes à 1 150 ℃, avec une température maximale à court terme atteignant 1 450 ℃.

Le four est la zone dans laquelle les tranches subissent un processus de chauffage à haute température, composé d'un tube de four à quartz, d'un réacteur et de plusieurs appareils de chauffage, il est largement utilisé dans les processus de diffusion, d'oxydation et RTP dans le traitement des semi-conducteurs. Le four est principalement divisé en types horizontaux et verticaux :. Dans un four horizontal, les tranches sont placées sur un bateau en quartz, lui-même placé sur un support SiC. Il existe également des déflecteurs adaptatifs à l’avant et à l’arrière. Le support est poussé dans le tube du four à quartz et les tranches subissent la réaction dans une zone à température constante. Dans un four vertical, les tranches sont placées sur une tour de quartz puis lentement remontées dans le tube du four à quartz pour être traitées.

3. Bonne stabilité thermique. Le quartz de haute pureté a un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible et peut résister à des changements de température drastiques.  Chauffer le quartz de haute pureté à environ 1 100 ℃, puis le plonger dans de l'eau à température ambiante ne le fera pas se briser.

4. Bonnes performances de transmission de la lumière. Le quartz de haute pureté présente de bonnes performances de transmission de la lumière sur tout le spectre, de l'ultraviolet à l'infrarouge. La transmission de la lumière visible est supérieure à 93 % et dans le spectre ultraviolet, la transmission maximale peut atteindre plus de 80 %.

5. Bonnes performances d’isolation électrique. La résistivité du quartz de haute pureté est dix mille fois supérieure à celle du verre de quartz ordinaire, ce qui en fait un excellent matériau d'isolation électrique, possédant de bonnes propriétés électriques même à haute température.