Tubes de diffusion à quartz de qualité semi-conducteur

Bateaux en quartzsont généralement utilisés dans des conditions de fonctionnement difficiles à haute température et à corrosion chimique. Pendant l'opération, des tranches semi-conductrices sont placées dans le bateau en quartz et insérées dans le tube de diffusion en quartz. Lorsque le tube de diffusion atteint la température requise (plusieurs centaines à plusieurs milliers de degrés Celsius), des gaz de traitement (par exemple O₂, N₂, H₂, Ar) et des gaz dopants (par exemple POCl₃, BBr₃) sont introduits dans le tube de diffusion en quartz via des orifices de gaz pour effectuer l'oxydation, la diffusion et le recuit sur des tranches semi-conductrices. De plus, pour améliorer l’uniformité et la précision de la diffusion, certains processus de diffusion doivent être effectués dans un environnement à basse pression. 

Dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs, toute légère erreur ou déficience dans ces processus peut entraîner l’échec des processus ultérieurs. Par conséquent, en tant qu’élément crucial de la fabrication des semi-conducteurs, la qualité des tubes de diffusion en quartz est très importante et affecte directement le rendement et les performances des dispositifs semi-conducteurs.

Les spécifications de Semicorex Quartz de qualité semi-conducteur

Les tubes de diffusion en quartz de qualité semi-conducteur Semicorex sont méticuleusement fabriqués à partir de matériaux de haute qualité.quartz de qualité semi-conducteurmatériel. Voici ses paramètres spécifiques :

Les paramètres peuvent être personnalisés selon les exigences du client.

Les performances des tubes de diffusion à quartz de qualité semi-conducteur Semicorex

S'appuyant sur notre technologie de traitement expérimentée et notre sélection de matériaux fiable, Semicorex de qualité semi-conducteurtubes de diffusion en quartzdémontrer des performances supérieures dans des conditions d’exploitation difficiles :

1. Performances de résistance à haute température

Les tubes de diffusion en quartz de qualité semi-conducteur Semicorex offrent une résistance remarquable aux hautes températures, ce qui leur permet de fonctionner de manière stable dans des environnements à haute température jusqu'à 1 200 ℃ sans aucune déformation ni dommage.

2. Performances de stabilité thermique

Bénéficiant d'un coefficient de dilatation thermique exceptionnel, les tubes de diffusion en quartz de qualité semi-conducteur Semicorex sont capables de résister aux contraintes thermiques lors d'un chauffage ou d'un refroidissement rapide sans se fissurer ou se déformer facilement.

3. Performances de résistance chimique

Les tubes de diffusion en quartz de qualité semi-conducteur Semicorex offrent une inertie chimique supérieure dans les environnements corrosifs difficiles à haute température. Cette performance empêche grandement les contaminants générés par leur réaction avec les gaz de traitement d’affecter la qualité des plaquettes.