Les bras de robot en céramique d'alumine Semicorex, également appelés effecteurs d'extrémité en céramique d'alumine, sont les pièces en céramique cruciales principalement utilisées dans la fabrication frontale de semi-conducteurs pour la manipulation, le transport et le positionnement des tranches. Les bras robotisés en céramique d'alumine Semicorex, qui offrent à la fois des performances fiables et un coût compétitif, peuvent garantir une transmission de tranche de haute précision, sans contamination et sans dommage.
Dotés d'une propreté élevée, d'un excellent parallélisme, de dimensions précises, d'une fiabilité stable et d'un fonctionnement efficace, les bras robotisés en céramique sont les composants indispensables largement utilisés dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Avec les progrès continus de l’automatisation industrielle, la demande du marché en bras de robot en céramique ne cesse de croître.
Les industries haut de gamme, notamment la fabrication de plaquettes, le domaine photovoltaïque et les secteurs de l'électronique de précision, imposent des exigences opérationnelles strictes aux composants des équipements. Semicorexcéramique d'alumineles bras robotisés peuvent pleinement satisfaire ces exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs sous vide et dans des conditions de haute température grâce à leurs performances matérielles supérieures indiquées ci-dessous.
1. Haute résistance mécanique et dureté
2. Point de fusion élevé et stabilité thermique fiable
3. Corrosion chimique exceptionnelle
4. Excellentes performances d'isolation électrique
| Propriétés |
Densité |
Résistance à la flexion (20℃) |
Résistance à la compression (20℃) |
Dureté (Knoop 1000 g) |
Résistance à la traction (25 ℃) |
Coefficient de dilatation thermique (25-1000℃) |
Température d'utilisation maximale |
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| Unité | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
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| 99,5 % d'Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Les données ci-dessus sont pour référence seulement
1. Manipulation de haute précision
Semicorexbras de robot en céramique d'aluminesont idéaux pour une manipulation stable des plaquettes ainsi que pour la préhension et le transfert de plaquettes de haute précision dans les ateliers de fabrication de plaquettes sensibles à la contamination dans les domaines des semi-conducteurs et du photovoltaïque, garantissant de manière fiable la propreté des plaquettes et le taux de rendement des puces.
2. Traitement chimique
Les bras robotisés en céramique d'alumine Semicorex sont capables de supporter la corrosion des acides et des alcalis forts et sont bien adaptés pour fonctionner dans des conditions chimiques agressives, comme dans l'industrie chimique et les domaines de production de batteries à énergie nouvelle.
3. Fabrication à haute température Les bras robotisés en céramique d'alumine Semicorex peuvent être largement utilisés dans les domaines de la production de verre, du moulage et de la métallurgie, car ils peuvent répondre aux exigences de maintien d'une résistance et d'une stabilité fiables dans des environnements difficiles à haute température.