Creusets en graphite recouverts de SiC

Installé au centre des fours de croissance de cristaux à haute température,Revêtement SiCles creusets en graphite fonctionnent en conjonction avec des appareils de chauffage, des manchons d'isolation thermique, des tubes de guidage de flux et des arbres de creuset pour former le système complet de champ thermique. Ce système de champ thermique peut maintenir un environnement stable à haute température essentiel à la croissance des cristaux.

La production de revêtement SiCcreusets en graphitecommence généralement par l'utilisation de la technologie avancée de dépôt chimique en phase vapeur pour déposer uniformément une couche densecreusets en graphiterevêtement sur la surface du substrat de graphite formé. Composé de haute puretégraphitesubstrat et le revêtement dense en carbure de silicium, le creuset en graphite recouvert de SiC forme une structure synergique qui combine la conductivité thermique du graphite avec la résistance à la corrosion du carbure de silicium.

La méthode Czochralski est la technique industrielle universelle de croissance cristalline. Cette technique exercera la force centrifuge sur le creuset lors de la production du cristal. La résistance supérieure à la flexion et la ténacité des creusets en graphite à revêtement SiC peuvent empêcher la casse ou la fissuration lors d'une rotation à grande vitesse, réduisant ainsi efficacement les interruptions de production causées par les dommages au creuset. De plus, les creusets doivent subir des fluctuations de température drastiques sur une courte période au cours de ce processus. Grâce à leur remarquable résistance aux chocs thermiques, les creusets en graphite revêtus de SiC peuvent réduire les dommages structurels liés aux contraintes thermiques, assurer la stabilité de leur forme, réduisant ainsi les défauts de croissance cristalline causés par la déformation du creuset.

À des températures élevées, les creusets en graphite recouverts de SiC formeront une couche protectrice dense de carbure de silicium. Cette couche protectrice peut isoler le substrat en graphite de la vapeur de silicium et du silicium fondu, minimisant ainsi les risques de corrosion du substrat en graphite et de contamination des cristaux associés au pelage du revêtement. Par conséquent, les creusets en graphite à revêtement SiC de Semicorex peuvent résister à divers environnements complexes de corrosion à haute température pendant de longues périodes de fonctionnement réel. Cela garantit une composition cristalline constante et réduit les taux de défauts, deux éléments essentiels à la production de cristaux semi-conducteurs de haute qualité.