Chine Graphite spécialisé fabricants, fournisseurs, usine

Le graphite spécialisé est une sorte de graphite artificiel qui est traité. C'est un matériau important qui est indispensable dans tous les aspects du processus de fabrication semi-conducteur et photovoltaïque, y compris la croissance des cristaux, l'implantation d'ions, l'épitaxie, etc.

1. Croissance des cristaux en carbure de silicium (sic)

Le carbure de silicium, en tant que matériau semi-conducteur de troisième génération, est largement utilisé dans de nouveaux véhicules énergétiques, des communications 5G et d'autres champs. Dans le processus de croissance des cristaux SIC de 6 pouces et 8 pouces, le graphite isostatique est principalement utilisé pour fabriquer les composants clés suivants:

Crucible en graphite: Cela peut être utilisé pour synthétiser les matières premières en poudre SIC et également aider à la croissance cristalline à des températures élevées. Sa pureté élevée, sa résistance à haute température et sa résistance aux chocs thermiques garantissent un environnement de croissance cristalline stable.

Réfonce de graphite: Cela offre une distribution de chaleur uniforme, assurant une croissance des cristaux SIC de haute qualité.

Tube d'isolation: Cela maintient l'uniformité de la température dans le four à croissance cristalline et réduit la perte de chaleur.

2. Implantation ionique

L'implantation ionique est un processus clé dans la fabrication de semi-conducteurs. Le graphite isostatique est principalement utilisé pour fabriquer les composants suivants dans Ion Implanters:

Graphite Getter: Cela absorbe les ions d'impuretés dans le faisceau d'ions, assurant la pureté de l'ion.

Anneau de mise au point du graphite: Cela concentre le faisceau d'ions, améliorant la précision et l'efficacité de l'implant ionique. Plateaux de substrat de graphite: utilisés pour soutenir les tranches de silicium et maintenir la stabilité et la cohérence pendant l'implantation ionique.

3. Processus épitaxie

Le processus d'épitaxie est une étape critique de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le graphite pressé isostatiquement est principalement utilisé pour fabriquer les composants suivants dans les fours épitaxy:

Plateaux en graphite et suscepteurs: utilisés pour soutenir les plaquettes de silicium, fournissant un support stable et une conduction thermique uniforme pendant le processus d'épitaxie.

4. Autres applications de fabrication de semi-conducteurs

Le graphite pressé isostatiquement est également largement utilisé dans les applications de fabrication de semi-conducteurs suivantes:

Processus de gravure: utilisé pour fabriquer des électrodes graphites et des composants de protection pour les gravures. Sa résistance à la corrosion et sa grande pureté assurent la stabilité et la précision du processus de gravure.

Dépôt de vapeur chimique (CVD): Utilisé pour fabriquer des plateaux et des radiateurs en graphite dans les fours CVD. Sa conductivité thermique élevée et sa résistance à haute température assurent un dépôt uniforme en couches minces.

Test d'emballage: utilisé pour fabriquer des luminaires de test et des plateaux de transport. Sa haute précision et sa faible contamination garantissent des résultats de test précis.

Avantages des pièces graphites

Haute pureté:

En utilisant un matériau de graphite pressé de haute pureté avec un contenu à impureté extrêmement faible, il répond aux exigences de pureté des matériaux rigoureux de la fabrication de semi-conducteurs. La propre fournaise de purification de l'entreprise peut purifier le graphite en dessous de 5 ppm.

Haute précision:

Avec des équipements de traitement avancés et une technologie de traitement mature, il garantit que la précision dimensionnelle du produit et les tolérances de forme et de position atteignent le niveau de micron.

Haute performance:

Le produit a une excellente résistance à la température élevée, une résistance à la corrosion, une résistance au rayonnement, une conductivité thermique élevée et d'autres propriétés, remplissant les différentes conditions de travail sévères de la fabrication de semi-conducteurs.

Service personnalisé:

Les services de conception et de traitement des produits personnalisés peuvent être fournis selon les besoins des clients pour répondre aux besoins de différents scénarios d'application.

Types de produits en graphite

(1) graphite isostatique
Les produits de graphite isostatique sont produits par un pressage isostatique froid. Par rapport à d'autres méthodes de formation, les creusets produits par ce processus ont une excellente stabilité. Les produits en graphite requis pour les monocristaux SIC sont tous de grande taille, ce qui entraînera une pureté inégale à la surface et à l'intérieur des produits de graphite, qui ne peuvent pas répondre aux exigences d'utilisation. Afin de répondre aux exigences de purification profonde des produits de graphite de grande taille requis pour les monocristaux SIC, un processus de purification thermochimique à haute température unique doit être adopté pour obtenir une purification profonde et uniforme des produits de graphite de grande taille ou de forme spéciale, afin que la pureté de la surface et du noyau du produit puisse répondre aux exigences d'utilisation.

(2) graphite poreux
Le graphite poreux est un type de graphite avec une porosité élevée et une faible densité. Dans le processus de croissance des cristaux SIC, le graphite poreux joue un rôle significatif dans l'amélioration de l'uniformité de transfert de masse, réduisant le taux d'occurrence du changement de phase et améliorant la forme cristalline.
L'utilisation de graphite poreux améliore la température et l'uniformité de la température de la zone de matières premières, augmente la différence de température axiale dans le creuset et a également un certain effet sur l'affaiblissement de la recristallisation de la surface des matières premières; Dans la chambre de croissance, le graphite poreux améliore la stabilité du flux de matériaux tout au long du processus de croissance, augmente le rapport C / Si de la zone de croissance, aide à réduire la probabilité de changement de phase et, en même temps, le graphite poreux joue également un rôle dans l'amélioration de l'interface cristalline.

(3) ressenti
Le feutre doux et les feuilles dures jouent les deux le rôle des matériaux d'isolation thermique importants dans la croissance des cristaux SIC et les liaisons épitaxiales.

(4) feuille de graphite
Le papier en graphite est un matériau fonctionnel en graphite de flocons à haut carbone par un traitement chimique et un roulement à haute température. Il a une conductivité thermique élevée, une conductivité électrique, une flexibilité et une résistance à la corrosion.

(5) Matériaux composites
Le champ thermique en carbone-carbone est l'un des consommables de base de la production de four à cristal photovoltaïque.

Production semicoréx

Semicorex Faire du graphite avec des méthodes de production personnalisées en petits lots. La production de petit lots rend les produits plus contrôlables. L'ensemble du processus est contrôlé par des contrôleurs logiques programmables (PLC), les données de processus détaillées ont été enregistrées, permettant une traçabilité complète du cycle de vie.

Pendant tout le processus de torréfaction, la consistance obtenue en résistivité à différents endroits et le contrôle de la température serré maintenu. Cela garantit l'homogénéité et la fiabilité des matériaux de graphite.

Semicorex utilise une technologie de pressage entièrement isostatique, qui est différente des autres fournisseurs; Cela signifie que le graphite est lui-même ultra uniforme et s'est révélé particulièrement important dans les processus épitaxiaux. Les tests d'uniformité des matériaux complets ont été effectués, notamment la densité, la résistivité, la dureté, la résistance à la flexion et la résistance à travers différents échantillons.