Cassettes en téflon

Les cassettes en téflon semicoréx sont des porteurs de plaquettes haute performance spécifiquement conçus pour une utilisation dans des environnements chimiques exigeants où la pureté, la résistance chimique et la stabilité thermique sont essentielles. Fabriquées en polytétrafluoroéthylène de haute pureté (PTFE), ces cassettes sont largement utilisées dans la fabrication de semi-conducteurs, la gravure humide, le nettoyage chimique et d'autres applications où l'exposition à des produits chimiques très agressifs est routine. Leur nature non réactive les rend idéaux pour manipuler des substrats délicats comme les plaquettes de silicium, les panneaux de verre et d'autres composants de précision sans introduire de contamination ou de particules dans le processus.

Dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs, tels que la lithographie, la gravure et l'implantation d'ions, les cassettes jouent un rôle dans le transport et le transfert de plateaux entre différents appareils. Différents équipements de processus peuvent avoir des exigences d'interface différentes pour les cassettes afin de garantir que les transporteurs de plaquettes peuvent être reçus et placés avec précision.

Du point de vue du matériau et de la conception, les matériaux résistants à la chaleur, ont d'excellentes propriétés mécaniques, la stabilité dimensionnelle et sont généralement utilisées, antistatiques, faibles de dégoûts, de faibles précipitations et recyclables. Différentes tailles de plaquettes, nœuds de processus et processus utilisent différents matériaux. Les matériaux généraux sont PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, etc.

Les cassettes en téflon offrent une résistance chimique supérieure dans les environnements utilisant de l'acide hydrofluorique, de l'acide nitrique, de l'acide sulfurique et d'autres forts corrosifs. Contrairement aux matériaux conventionnels comme le polypropylène ou l'acier inoxydable, le PTFE ne se dégrade pas; ne gonfle pas; Livides aucune substances dans les bains chimiques difficiles. Les performances sont donc garanties sur de longues périodes et, par conséquent, la fiabilité des cassettes pour les lignes de production à haut débit et les environnements ultra-claires. Sa robustesse signifie des besoins de maintenance plus faibles et une fréquence de remplacement, réduisant ainsi les coûts d'exploitation à long terme.

Les cassettes en téflon présentent une stabilité thermique très élevée. Ils peuvent facilement résister aux températures de -200 ° C à + 260 ° C, applicables aux processus cryogéniques ainsi que pour les processus à haute température. Même placés dans des chambres de séchage chauffées ou des bains chimiques froids, les cassettes ne perdent pas leur force structurelle; Ils ne se déforment ni ne se fissurent, garantissant que les plaquettes seront tenues en toute sécurité pendant le traitement. Cette résilience à la température contribue de manière significative au contrôle des processus et à l'uniformité, qui sont essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS.

Une caractéristique tout aussi importante des cassettes en téflon est sa surface inerte et antiadhésive. Le PTFE ne permet pas d'adsorption des particules et des résidus chimiques, réduisant ainsi les risques de contamination dans les environnements de salle blanche. Cela doit être couplé à une finition de surface lisse qui permet de rincer facile et de sécher rapidement, donc des résultats plus propres et des temps de cycle plus rapides. Dans le traitement des semi-conducteurs, où les défauts peuvent être causés par même des contaminants microscopiques, ce niveau de propreté et d'inertie chimique est obligatoire.

Chaque cassette est conçue avec précision sur des tolérances de taille serrée, garantissant un alignement et un espacement réguliers de la plaque tout en étant déplacés et placés dans du liquide. Leur forme facilement conçue aide à un flux chimique rapide et à un drainage, ce qui accélère les taux de change chimique et améliore l'uniformité du nettoyage ou de la gravité sur la surface de la plaquette.  Les cassettes sont disponibles en tailles standard pour les plaquettes de 4 pouces, 6 pouces et 8 pouces, avec des options de personnalisation disponibles pour adapter des dimensions de substrat spécifiques, un nombre de créneaux et des exigences de gestion.

Conçus pour la compatibilité avec des bancs humides automatisés et des systèmes de manutention robotique, les cassettes en téflon s'intègrent facilement dans la plupart des configurations de production de semi-conducteurs. Leur construction robuste et finition de qualité blanche répondent aux exigences strictes des environnements certifiés ISO. Toutes les cassettes subissent une inspection approfondie et sont pré-nettoyées dans l'eau ultra-pure pour répondre aux normes de propreté requises pour la production avancée de microélectronique. Des certificats de conformité et une traçabilité complète des matériaux peuvent être fournis pour garantir la conformité aux protocoles d'assurance qualité.