Bras de chargement de plaquettes

Le bras de chargement de plaquettes est construit à partir de matériaux céramiques d'alumine de haute pureté, garantissant un niveau de propreté exceptionnel, crucial pour la fabrication de semi-conducteurs. La grande pureté de la céramique minimise le risque de contamination, essentiel au maintien de l’intégrité des plaquettes lors de la manipulation. Cette propreté supérieure est essentielle dans les environnements où même les plus petites impuretés peuvent avoir des effets néfastes importants sur la qualité du produit final.

L'une des caractéristiques remarquables du bras de chargement de plaquettes de Semicorex est sa fabrication de précision, atteignant des tolérances aussi fines que ±0,001 mm. Ce niveau de précision dimensionnelle garantit que le bras peut manipuler les tranches avec une précision exceptionnelle, réduisant ainsi le risque de mauvaise manipulation ou de mauvais alignement lors des étapes de traitement critiques. Les dimensions précises garantissent également la compatibilité avec les équipements existants, facilitant ainsi une intégration transparente dans les configurations de fabrication actuelles.

Les céramiques d'alumine utilisées dans le bras de chargement de plaquettes présentent une résistance remarquable aux hautes températures, supportant des températures allant jusqu'à 1 600 °C. Cette propriété est essentielle pour les applications dans des environnements à haute température, garantissant que le bras conserve sa forme et son intégrité structurelle sous contrainte thermique. La déflexion réduite à des températures élevées améliore la fiabilité et la précision de la manipulation des tranches, même dans les conditions thermiques les plus exigeantes.

Dans les processus de semi-conducteurs tels que le nettoyage et la gravure, le bras de chargement de plaquettes démontre une résistance exceptionnelle à la corrosion contre divers liquides chimiques. Le matériau céramique d'alumine reste stable et conserve ses caractéristiques de performance lorsqu'il est exposé à des environnements chimiques agressifs. Cette résistance à la corrosion prolonge la durée de vie opérationnelle du bras, réduisant ainsi le besoin de remplacements et de maintenance fréquents, augmentant ainsi l'efficacité globale.

La qualité de surface du bras de chargement de plaquettes est méticuleusement contrôlée, atteignant une rugosité moyenne (Ra) de 0,1 et étant exempte de contamination et de particules métalliques. Cette qualité de surface élevée garantit que les tranches sont manipulées avec délicatesse, évitant ainsi les rayures, la contamination et autres défauts de surface qui pourraient compromettre la fonctionnalité de la tranche. Le maintien d’une surface impeccable est crucial pour les processus exigeant la plus grande précision et propreté.

Le matériau céramique d'alumine offre une résistance à l'usure qui dépasse de loin celle des matériaux traditionnels tels que l'acier et l'acier chromé. Cette résistance à l'usure exceptionnelle garantit que le Wafer Loader Arm peut supporter une utilisation prolongée sans dégradation significative, tout en conservant sa précision et son efficacité dans le temps. L'usure réduite contribue également à réduire les coûts d'exploitation en minimisant le besoin de remplacements fréquents de pièces.

Malgré sa robustesse, le Wafer Loader Arm est léger, ce qui réduit efficacement la charge sur l'équipement. Cette réduction de poids améliore non seulement l'efficacité globale du système de manipulation des plaquettes, mais prolonge également la durée de vie des machines associées. Le poids plus léger facilite des mouvements plus fluides et plus rapides, améliorant ainsi le débit et la fiabilité du processus de manipulation des plaquettes.