Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de produits revêtus de carbure de silicium en Chine. Nous fournissons des solutions de four sur mesure. Notre four sous vide CVD et CVI a un bon avantage de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.
Le four à vide Semicorex CVD et CVI est un outil de haute qualité conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Les températures de réaction jusqu'à 2200°C. Il est capable de déposer une large gamme de matériaux, notamment du carbure de silicium, du nitrure de bore, du graphène, etc. Le four CVD a une conception robuste et est composé de matériaux de haute qualité, garantissant fiabilité et durabilité pour une utilisation à long terme. Il a des structures horizontales et verticales.
Application:Disque de frein composite C/C, creuset, moule, etc.
Caractéristiques des fours sous vide Semicorex CVD et CVI
Conception 1.Robust faite de matériaux de haute qualité pour une utilisation à long terme;
2. Livraison de gaz contrôlée avec précision grâce à l'utilisation de contrôleurs de débit massique et de vannes de haute qualité ;
3. Équipé de fonctions de sécurité telles que la protection contre la surchauffe et la détection des fuites de gaz pour un fonctionnement sûr et fiable ;
4. Utilisation de plusieurs zones de contrôle de la température, grande uniformité de la température ;
5. Chambre de dépôt spécialement conçue avec un bon effet d'étanchéité et une excellente performance anti-contamination ;
6. Utilisation de plusieurs canaux de dépôt avec un flux de gaz uniforme, sans coins morts de dépôt et surface de dépôt parfaite ;
7.Il a un traitement pour le goudron, la poussière solide et les gaz organiques pendant le processus de dépôt
Caractéristiques optionnelles:
â¢Porte du four : vis/hydraulique/type d'élévation manuelle ; ouverture pivotante/ouverture parallèle (grande taille
porte de fourneau); serrage manuel/ serrage automatique de la bague de verrouillage
⢠Cuve du four : tout acier au carbone/couche interne en acier inoxydable/tout en acier inoxydable
â¢Zone chaude du four : feutre de carbone mou/feutre de graphite mou/feutre composite rigide/CFC
â¢Élément chauffant et moufle : graphite de presse isostatique/graphite haute pureté, résistance et densité/graphite de taille fine
⢠Système de gaz de procédé : débitmètre volume/masse
⢠Thermocouple : type K/type N/type C/type S
Spécifications du four CVD |
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Modèle |
Taille de la zone de travail (L × H × L) mm |
Max. Température (°C) |
Température Uniformité (°C) |
Vide ultime (Pa) |
Taux d'augmentation de la pression (Pa/h) |
LFH-6900-C |
600×600×900 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-10015-C |
1000×1000×1500 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1220-C |
1200×1200×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-1530-C |
1500×1500×3000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFH-2535-C |
2500×2000×3500 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D3050-C |
Ï300×500 |
1500 |
±5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D6080-C |
Ï600×800 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D8120-C |
Ï800×1200 |
1500 |
±7,5 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D11-C |
Ï1100×2000 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
LFV-D26-C |
Ï2600×3200 |
1500 |
±10 |
1-100 |
0.67 |
* Les paramètres ci-dessus peuvent être ajustés aux exigences du processus, ils ne sont pas en tant que norme d'acceptation, les spécifications détaillées. seront indiqués dans la proposition technique et les accords.