Four sous vide CVD et CVI

Semicorex est un fabricant et fournisseur à grande échelle de produits revêtus de carbure de silicium en Chine. Nous fournissons des solutions de fours personnalisées. Notre four à vide CVD et CVI présente un bon avantage en termes de prix et couvre de nombreux marchés européens et américains. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme.

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Description du produit

Le four à vide Semicorex CVD et CVI est un outil de haute qualité conçu pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Les températures de réaction jusqu'à 2200°C. Il est capable de déposer une large gamme de matériaux, notamment le carbure de silicium, le nitrure de bore, le graphène, etc. Le four CVD a une conception robuste et est fabriqué avec des matériaux de haute qualité, garantissant fiabilité et durabilité pour une utilisation à long terme. Il présente des structures à la fois horizontales et verticales.

Application:Disque de frein composite C/C, creuset, moule, etc.

Caractéristiques des fours à vide Semicorex CVD et CVI

1. Conception robuste faite de matériaux de haute qualité pour une utilisation à long terme;

2. Livraison de gaz contrôlée avec précision grâce à l'utilisation de contrôleurs de débit massique et de vannes de haute qualité ;

3. Équipé de fonctionnalités de sécurité telles que la protection contre la surchauffe et la détection des fuites de gaz pour un fonctionnement sûr et fiable ;

4. Utilisation de plusieurs zones de contrôle de température, grande uniformité de la température ;

5. Chambre de dépôt spécialement conçue avec un bon effet d'étanchéité et de grandes performances anti-contamination ;

6. Utilisation de plusieurs canaux de dépôt avec un débit de gaz uniforme, sans coins morts de dépôt et surface de dépôt parfaite ;

7. Il dispose d'un traitement pour le goudron, la poussière solide et les gaz organiques pendant le processus de dépôt.

Fonctionnalités optionnelles :

• Porte du four : type à vis/hydraulique/élévation manuelle ; ouverture battante/ouverture parallèle (grande taille

porte du four); Serrage manuel/anneau de verrouillage automatique

• Cuve de four : tout en acier au carbone/couche intérieure en acier inoxydable/tout en acier inoxydable

•Zone chaude du four : feutre de carbone souple/feutre de graphite souple/feutre composite rigide/CFC

•Élément chauffant et moufle : graphite de presse isostatique/graphite de haute pureté, résistance et densité/graphite de taille fine

• Système de gaz de procédé : débitmètre volumique/masse

• Thermocouple : type K/type N/type C/type S

Spécifications du four CVD
Modèle	Taille de la zone de travail (L × H × L) mm	Max. Température (°C)	Température Uniformité (°C)	Vide ultime (Pa)	Taux d'augmentation de la pression (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Les paramètres ci-dessus peuvent être ajustés aux exigences du processus, ils ne constituent pas une norme d'acceptation, les spécifications détaillées. sera indiqué dans la proposition technique et les accords.