Bateaux horizontaux à plaquettes de quartz

Bateaux horizontaux à plaquettes de quartzmaintiennent généralement les tranches de semi-conducteurs horizontalement dans les tubes du four des équipements de traitement thermique, chauffés par des dispositifs de chauffage externes. Ils sont largement utilisés dans les processus exigeants de traitement thermique corrosif à haute température des semi-conducteurs, tels que les processus d'oxydation thermique, de diffusion à haute température, de recuit et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Les fonctions des bateaux à plaquettes de quartz horizontaux Semicorex

1. Maintien et fixation stables

Les bateaux à plaquettes de quartz horizontaux Semicorex ont une excellente capacité de charge et peuvent constamment offrir un support stable pour plusieurs plaquettes semi-conductrices. Et leur conception externe optimisée et leur structure de fente précise garantissent à chacuntrancheest parfaitement ajusté et fermement fixé sur les bateaux horizontaux de plaquettes de quartz, ce qui réduit considérablement les rayures et les collisions des plaquettes causées par les secousses, les déplacements et l'inclinaison pendant les processus de transport et de fabrication.

2. Aide à l'uniformité du processus

La structure de fentes à espacement égal des bateaux horizontaux à tranches de quartz permet le placement ordonné des tranches semi-conductrices, créant ainsi un champ d'écoulement de gaz stable et fluide dans les fours à haute température. La conception structurelle permet d'obtenir un contact de gaz et un taux de réaction constants sur chaque surface de tranche, réduisant ainsi efficacement divers défauts provoqués par un chauffage inégal et un contact de gaz différentiel, tels qu'une oxydation incomplète de tranche, un dépôt de couche mince inégal et un écart de concentration de dopage.

3. Durée de vie longue durée

Grâce à la résistance supérieure aux hautes températures du matériau de quartz, les bateaux à plaquettes de quartz horizontales Semicorex peuvent résister à des températures élevées de 1 100 à 1 200 ℃ pendant une longue période sans déformation ni fusion.Quartzest chimiquement inerte vis-à-vis des gaz couramment utilisés dans les processus de semi-conducteurs, tels que l'oxygène, l'azote et le chlorure d'hydrogène. Cette inertie chimique exceptionnelle peut minimiser le risque de corrosion dû aux gaz de procédé, prolongeant considérablement la durée de vie et réduisant le temps et les coûts de remplacement des équipements.