Le bateau de diffusion de quartz Semicorex, également appelé support de quartz ou bateau de tranches de quartz, est spécialement conçu pour contenir des tranches de semi-conducteurs pendant des processus critiques tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l'oxydation thermique et le recuit.**
Dans le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le rôle du Quartz Diffusion Boat est crucial pour le dépôt uniforme de films minces sur des substrats semi-conducteurs. L'ingénierie précise du Quartz Diffusion Boat garantit que les plaquettes sont solidement maintenues en place, permettant une répartition uniforme des réactifs gazeux sur leurs surfaces. Cette uniformité est essentielle pour obtenir une épaisseur et une composition de film constantes, ce qui a un impact direct sur les performances électriques des dispositifs semi-conducteurs. Le bateau de diffusion de quartz Semicorex est conçu pour résister aux températures élevées et aux environnements corrosifs généralement rencontrés dans les processus CVD, garantissant ainsi une durabilité et une fiabilité à long terme.
L'oxydation thermique est un autre processus critique dans la fabrication de semi-conducteurs, dans lequel une couche de dioxyde de silicium se développe à la surface des tranches de silicium. Cette couche d'oxyde agit comme un isolant et est essentielle au bon fonctionnement des dispositifs semi-conducteurs. Les bateaux de diffusion de quartz sont conçus pour offrir une excellente stabilité thermique, garantissant que les plaquettes sont exposées à un profil de température uniforme pendant le processus d'oxydation. Cette uniformité est essentielle à la croissance d’une couche d’oxyde cohérente et de haute qualité, qui améliore les performances et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs finaux.
Le recuit, qui implique le chauffage et le refroidissement contrôlés des tranches pour modifier leurs propriétés physiques et chimiques, est un autre processus dans lequel le bateau de diffusion de quartz joue un rôle essentiel. Le contrôle précis de la température et de l'atmosphère pendant le recuit est crucial pour améliorer la structure cristalline du silicium, activer les dopants et réduire les défauts. Le bateau de diffusion de quartz Semicorex est conçu pour maintenir l’intégrité structurelle et la stabilité thermique sous les températures élevées et les changements rapides de température typiques des processus de recuit. Cette stabilité garantit que les tranches sont traitées uniformément, obtenant les propriétés matérielles souhaitées et améliorant les performances des dispositifs semi-conducteurs.
La personnalisation est un aspect clé du Quartz Diffusion Boat, car les différents processus de fabrication de semi-conducteurs ont des exigences uniques. Chez Semicorex, nous proposons une large gamme de formes et de tailles personnalisées pour répondre aux besoins spécifiques de nos clients. Notre gamme de produits comprend différents types de supports de plaquettes de quartz, tels que des bateaux en quartz, des bateaux à rainurer, des bateaux à plat et des bateaux de forme debout. Nous sommes spécialisés dans la production de supports de plaquettes pour une gamme de spécifications, notamment des plaquettes de 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ et 8″. Des matériaux transparents fondus et opaques sont disponibles, nous permettant de fournir des solutions adaptées aux exigences spécifiques de chaque application.
Nos capacités de fabrication sont soutenues par des installations de pointe, notamment des salles de soudage sans poussière et des ateliers de traitement de haut niveau. Nous utilisons des technologies avancées telles que la découpe laser, les centres d'usinage CNC, les machines à rainurer CNC et la découpe à l'eau efficace pour garantir la plus haute qualité et précision dans le bateau à diffusion de quartz. Ces processus de fabrication avancés nous permettent de produire des bateaux en quartz avec des dimensions précises et des finitions de surface supérieures, garantissant des performances optimales dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.