Suscepteurs de plaquettes en graphite 1x2"

Dans la fabrication d'une tranche semi-conductrice, la couche épitaxiale doit croître sur le substrat de la tranche pour la fabrication ultérieure de dispositifs semi-conducteurs. Le processus de croissance épitaxiale étant très sensible aux fluctuations de température et à la contamination, les sélections de matériaux fiablessuscepteurs de plaquettessont d’une importance cruciale. En tant que pièces de support indispensables dans le processus d’épitaxie des tranches, la précision de l’usinage, la capacité de gestion thermique et les performances de résistance à la contamination sont des facteurs cruciaux pour obtenir une croissance épitaxiale des tranches de haute qualité.

Les fonctions des suscepteurs de plaquettes de graphite Semicorex 1x2"

Fabriqués à partir de graphite de haute pureté à grains ultra-fins comme matrice avec un revêtement dense en carbure de silicium via des processus spéciaux, les suscepteurs de tranches de graphite Semicorex 1x2" offrent les fonctions suivantes :

1. Tenue sécurisée et obsolète

Semicorex 1x2"graphiteLes suscepteurs de plaquettes sont dotés d'un usinage et d'un traitement de précision, offrant une planéité de surface et une précision dimensionnelle exceptionnelles. Cela garantit qu'ils sont fermement fixés dans une position appropriée et fournit une plate-forme de support stable et plate pour la croissance épitaxiale des tranches.

2. Distribution de chaleur uniforme de précision

Grâce à l'excellente conductivité thermique des matériaux graphite et SiC, les suscepteurs sur tranches de graphite Semicorex 1x2" assurent une distribution rapide et uniforme de la chaleur à travers la substance semi-conductrice. En minimisant les gradients de température, les suscepteurs sur tranches de graphite Semicorex 1x2" peuvent éviter efficacement des problèmes tels qu'une qualité épitaxiale inégale et une concentration de contraintes.

Les avantages du revêtement en carbure de silicium Semicorex

1. Résistance supérieure à la corrosion

Recouverts d'un revêtement dense en carbure de silicium, les suscepteurs en graphite Semicorex 1x2" résistent efficacement à la majorité des produits chimiques, ce qui les rend adaptés aux applications dans des conditions de fonctionnement hautement corrosives où le matériau est fréquemment exposé à des gaz corrosifs et des vapeurs chimiques.

2. Faible perte de particules

Semicorexrevêtement en carbure de siliciuma une force de liaison élevée avec la matrice de graphite, ce qui peut éviter considérablement le risque de contamination du substrat dû au détachement du revêtement dû à la corrosion et aux retombées de particules causées par des environnements à forte corrosion.

3. Durée de vie fiable

Bien que les matrices de graphite présentent une excellente stabilité thermique et résistance mécanique, elles sont sujettes à la corrosion et à la pulvérisation dans les conditions de fonctionnement du processus épitaxial, ce qui raccourcit considérablement la durée de vie des matrices de graphite non revêtues. En encapsulant entièrement les matrices de graphite avec des revêtements SiC denses, nos suscepteurs sur tranches de graphite 1 × 2" atteignent une durabilité supérieure et fiable.

Données matérielles du revêtement Semicorex SiC