Le disque en céramique PBN de Semicorex est synthétisé par un processus complexe de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), utilisant du trichlorure de bore (BCl3) et de l'ammoniac (NH3) à des températures élevées et à basses pressions. Cette méthode de synthèse permet d'obtenir un matériau d'une pureté et d'une intégrité structurelle exceptionnelles, ce qui le rend indispensable pour une variété d'applications au sein de l'industrie des semi-conducteurs.**
L’un des avantages les plus significatifs du disque céramique PBN est sa pureté remarquablement élevée. La pureté des matières gazeuses utilisées dans le processus de synthèse (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) dépasse de loin celle des poudres de nitrure de bore classiques. Par conséquent, le disque en céramique PBN atteint un niveau de pureté de 99,99 %, avec un total d'impuretés s'élevant à moins de 100 parties par million (ppm). Cette pureté exceptionnelle est cruciale dans la fabrication de semi-conducteurs, où la moindre contamination peut entraîner des défauts dans les composants électroniques. En garantissant une telle pureté élevée, le disque céramique PBN minimise le risque de contamination, améliorant ainsi la fiabilité et les performances des dispositifs semi-conducteurs.
Le processus CVD utilisé dans la production du disque en céramique PBN lui confère une structure en couches presque parfaite. Cette structure unique facilite la conductivité thermique anisotrope, une propriété très bénéfique pour les composants utilisés dans les fours et les systèmes sous vide. La conductivité thermique anisotrope permet au disque en céramique PBN de gérer efficacement la distribution de la chaleur, assurant un contrôle uniforme de la température sur toute la surface du disque. Cette capacité est essentielle dans les processus de fabrication de semi-conducteurs qui nécessitent une gestion thermique précise pour éviter les gradients thermiques susceptibles d'entraîner des pannes ou des inefficacités de composants.
En termes de résilience thermique, le PBN Ceramic Disc s’impose comme un matériau exemplaire. Il peut résister à des températures allant jusqu'à 1 800 °C sous vide et 2 000 °C sous azote, sans présenter de point de fusion. Cette extraordinaire stabilité thermique en fait un choix idéal pour les composants de fours et les cuves de fusion, où les températures extrêmes font partie intégrante du fonctionnement. La capacité à maintenir l'intégrité structurelle à des températures aussi élevées garantit la longévité et la fiabilité, réduisant ainsi le besoin de remplacements fréquents et réduisant ainsi les coûts opérationnels globaux.
L'inertie chimique est une autre caractéristique du disque céramique PBN. Il résiste aux réactions avec un large éventail de substances, notamment les acides, les alcalis, les solvants organiques, les métaux en fusion et le graphite. Cette inertie est particulièrement avantageuse dans la fabrication de semi-conducteurs, où l'exposition à des substances réactives est courante. En restant non réactif, le disque céramique PBN évite les interactions chimiques indésirables qui pourraient compromettre l'intégrité et la fonctionnalité des composants semi-conducteurs.
Les applications du disque céramique PBN dans l’industrie des semi-conducteurs sont diverses et percutantes. Ses propriétés en font un matériau idéal pour une utilisation dans divers environnements à haute température et haute pureté. Dans les processus de croissance épitaxiale, par exemple, le disque constitue un composant crucial dans les systèmes de dépôt, où sa pureté et sa conductivité thermique garantissent la production de couches semi-conductrices de haute qualité. De plus, dans la fabrication de LED et d'autres dispositifs optoélectroniques, le disque céramique PBN fournit une plate-forme stable et fiable qui prend en charge les processus complexes requis pour obtenir des performances optimales du dispositif.
De plus, le rôle du PBN Ceramic Disc s’étend à la fabrication d’appareils électroniques de puissance. Ces appareils fonctionnent souvent à des températures élevées et nécessitent des matériaux capables de maintenir leurs performances dans de telles conditions. Les excellentes propriétés thermiques et chimiques du disque céramique PBN en font un choix approprié pour les substrats et autres composants des systèmes électroniques de puissance, contribuant ainsi à l’efficacité et à la durabilité de ces dispositifs.
Structures de nitrure de bore