Rabagratifs composites PBN

Les radiateurs composites PBN semicorex fusionnent l'excellente conductivité thermique du graphite pyrolytique avec l'inertie chimique et l'isolation électrique du nitrure de bore pyrolytique. Ces radiateurs sont construits à partir d'un graphite de très haute pureté et d'un PBN qui est appliqué à l'aide d'un processus CVD de haute qualité (dépôt chimique de vapeur) dans des conditions de dépôt de haute pureté. Chaque couche de réalisation individuelle a été déposée avec une contrôlabilité très extrême pour assurer une pureté ultra-élevée et des propriétés thermiques cohérentes. Le noyau de graphite, qui fournit un chauffage rapide et uniforme partout, est protégé contre l'oxydation et la contamination par la capsule PBN; Cela rend le radiateur idéal pour les environnements de gaz sous vide et les environnements de gaz inertes. Ces radiateurs PBN sont délibérément conçus pour une utilisation dans les réacteurs MBE (Molecular Beam Epitaxy), les réacteurs CVD et d'autres systèmes de croissance cristalline.

Le réchauffeur composite de graphite pyron de boron pyron (PBN-PG) est un radiateur qui utilise le PBN à haute insulation comme substrat et utilise le dépôt de vapeur chimique à basse pression (CVD) à basse pression) et à haute température pour enrober la PG conductrice. Les principaux composants de ce réchauffeur composite sont le nitrure de bore pyrolytique (PBN) et le graphite pyrolytique (PG). En raison de son excellente résistance à la corrosion et de sa résistance à haute température, il est principalement utilisé pour le chauffage du substrat semi-conducteur (utilisé dans MBE, MOCVD, revêtement de pulvérisation, etc.); Chauffage du substrat de superconducteur; Échantillon de chauffage pendant l'analyse de l'échantillon; Chauffage d'échantillon de microscope électronique; chauffage métallique; Source de chauffage de l'évaporation des métaux, etc.

Les radiateurs PBN peuvent résister à des températures de fonctionnement allant jusqu'à 1600 ° C dans le vide et avoir une meilleure capacité à résister à un choc thermique sur toutes les alternatives basées sur les métaux sur lesquelles vous comptez. La surface du radiateur est extrêmement lisse et dense et produit beaucoup moins de particules pendant le fonctionnement qui est critique pour les applications où la contamination ne peut pas être tolérée comme le traitement de la plaquette semi-conducteur.

La structure composite offre une excellente uniformité thermique à travers la surface du chauffage, et ses chemins résistifs peuvent être personnalisés pour permettre une distribution de chaleur sur mesure. Cette conception permet une augmentation rapide et des cycles de temps de recharge pendant le traitement sans fissuration et délaminant en raison des mêmes coefficients d'expansion thermique des matériaux utilisés. Les électrodes sont capables de résister à un fonctionnement à courant élevé continu et sont également compatibles dans le vide.

Semicorex offre une flexibilité de conception illimitée pour des formes, des tailles et des exigences d'alimentation uniques, si nécessaire, pour satisfaire les besoins d'application spécifiques; Que ce soit pour les tailles de plaquettes standard ou les géométries plus complexes, nous garantissons la précision dimensionnelle et l'uniformité thermique dans chaque unité produite.

Les radiateurs composites PBN sont parfaits pour les applications ultra-nettoyées, notamment:

• Systèmes MBE pour le traitement des semi-conducteurs composés III-V et II-VI
• Systèmes de revêtement à vide pour composants optiques
• Systèmes de croissance cristalline pour le saphir et le sic
• Traitement thermique de haute pureté pour les environnements de laboratoire de recherche et développement.