Mandrin électrostatique PBN

Propriétés matérielles dePBNMandrin électrostatique

Résistance aux hautes températures et rigidité diélectrique

LePBNLe mandrin électrostatique est réputé pour sa résistance exceptionnelle aux températures élevées, une caractéristique essentielle dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le nitrure de bore pyrolytique (PBN), le matériau utilisé dans la construction du mandrin, présente une résistivité supérieure à celle des céramiques les plus couramment utilisées, ce qui est crucial pour maintenir la force du mandrin Johnsen-Rahbek (J-R) jusqu'à des températures de 1 050°C. Cette résistivité élevée, associée à sa rigidité diélectrique élevée, garantit que les claquages ​​électriques sont efficacement évités même sous une chaleur intense, améliorant ainsi la fiabilité opérationnelle du mandrin.

Uniformité thermique et résistance aux chocs

La structure en treillis hexagonal du PBN, préparée par dépôt chimique en phase vapeur à des températures supérieures à 1 500 °C, contribue à son uniformité thermique et à sa résistance aux chocs exceptionnelles. Les éléments chauffants haute densité à l'intérieur duPBNLe mandrin électrostatique lui permet d'obtenir un profil thermique de plaquette cohérent avec une bonne uniformité de 1,1 à 1,5 % à des températures de 600 à 800°C. De plus, le mandrin à base de PBN démontre une remarquable résistance aux chocs thermiques et une masse thermique inférieure, lui permettant d'atteindre 600°C à une vitesse de montée en puissance rapide de 23°C/s sans risque de fissuration ou de délaminage.

Chauffage multizone personnalisable

Le mandrin électrostatique PBN est hautement personnalisable, doté de capacités de chauffage multizones qui permettent un contrôle maximal de la température. Ce niveau de personnalisation garantit que chaque mandrin peut être adapté pour répondre aux exigences spécifiques de chaque client, offrant ainsi une solution flexible pour diverses applications de traitement de semi-conducteurs.

Applications dePBNMandrin électrostatique

Implantation ionique et manipulation des plaquettes

Le mandrin électrostatique PBN est l'appareil de manipulation de tranches préféré dans les processus d'implantation ionique. Sa capacité à maintenir des plaquettes à des températures supérieures à 1 000°C en fait l'un des mandrins électrostatiques les plus polyvalents du marché. Cette polyvalence est encore renforcée par sa capacité à maintenir les plaquettes dans des plages de température très serrées, grâce aux éléments chauffants multizones haute densité.

Implantation d'ions de carbure de silicium

Dans l'application spécifique de l'implantation ionique SiC, lePBNLe mandrin électrostatique offre une solution viable aux défis liés au chauffage et à la manipulation des plaquettes. Ses capacités à double fonction, qui incluent une force de serrage élevée, une puissance de chauffage élevée, une bonne uniformité thermique et une réponse rapide, en font un choix idéal pour répondre aux exigences complexes de l'implantation d'ions SiC.

Fabrication de semi-conducteurs

Le mandrin électrostatique PBN joue un rôle essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, où une manipulation précise des tranches et un contrôle de la température sont essentiels. Sa haute résistance aux chocs thermiques et ses capacités de montée en température rapide le rendent adapté aux processus avancés de semi-conducteurs qui exigent une gestion rigoureuse de la température et un cycle thermique rapide.