Chauffage PBN

Le chauffage PBN de nitrure de bore pyron semicoréx est un composant de chauffage haute pureté et haute performance conçu pour des applications exigeantes où des matériaux ultra-nettoyés, chimiquement stables et thermiquement efficaces sont essentiels. Fabriqué par un processus de dépôt chimique de vapeur (CVD), le PBN présente une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance à haute température et une inertie chimique exceptionnelle, ce qui en fait le choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs, la croissance cristalline et les applications à l'aspiration.

Le radiateur PBN est un radiateur qui utilise PBN hautement isolant comme substrat et utilise le dépôt de vapeur chimique de décomposition thermique à basse pression (CVD) pour enrober le PG conducteur à basse pression (en dessous de 10TORR) et à haute température. Les principaux composants de ce réchauffeur composite sont le nitrure de bore pyrolytique (PBN) et le graphite pyrolytique (PG). En raison de son excellente résistance à la corrosion et de sa résistance à haute température, il est principalement utilisé pour le chauffage du substrat semi-conducteur (utilisé dans MBE, MOCVD, revêtement de pulvérisation, etc.); Chauffage du substrat de superconducteur; Échantillon de chauffage pendant l'analyse de l'échantillon; Chauffage d'échantillon de microscope électronique; chauffage métallique; Source de chauffage de l'évaporation des métaux, etc.

Le PBN est inerte aux gaz corrosifs; a une pureté élevée (supérieure à 99,99%); Ne mouille pas ou ne réagit pas avec la plupart des métaux fondus (il a les caractéristiques d'une casserole antiadhésive, et le métal peut être utilisé à 100%); a une bonne résistance à la température élevée (la température de fonctionnement maximale est de 2000 ℃); bonne densité; Une bonne résistance aux chocs thermiques et d'autres excellentes propriétés en font un matériau idéal pour préparer les radiateurs composites PBN-PG. PG peut être chauffé rapidement à 1600 ℃ (dans une atmosphère inerte et sous vide) dans un radiateur PBN. Dans le même temps, combiné avec la bonne conductivité thermique de la PBN, la surface de chauffage a une bonne uniformité de chaleur. Avec le développement rapide des industries connexes, la demande de radiateurs composites PBN-PG a également augmenté rapidement.

Les radiateurs PBN peuvent être fabriqués dans une variété de formes et de configurations pour répondre aux exigences spécifiques de conception et d'intégration. Les conceptions typiques comprennent des radiateurs planes, des radiateurs tubulaires et des géométries personnalisées avec des éléments de chauffage intégrés ou montés en surface. Les éléments de chauffage sont généralement en graphite pyrolytique (PG) et encapsulés dans PBN, fournissant une structure complètement scellée, isolante électrique et thermiquement efficace.