Les bagues de focalisation durables Semicorex pour le traitement des semi-conducteurs sont conçues pour résister aux environnements extrêmes des chambres de gravure au plasma utilisées dans le traitement des semi-conducteurs. Nos bagues de mise au point sont fabriquées en graphite de haute pureté recouvert d'un revêtement dense et résistant à l'usure en carbure de silicium (SiC). Le revêtement SiC présente des propriétés élevées de résistance à la corrosion et à la chaleur, ainsi qu'une excellente conductivité thermique. Nous appliquons du SiC en fines couches sur le graphite en utilisant le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour améliorer la durée de vie de nos bagues de mise au point.
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