Anneaux de mise au point durables pour le traitement des semi-conducteurs

Nos bagues de mise au point durables pour le traitement des semi-conducteurs sont conçues pour améliorer l'uniformité de la gravure autour du bord ou du périmètre de la tranche, minimisant la contamination et la maintenance imprévue. Ils sont très stables pour le recuit thermique rapide (RTA), le traitement thermique rapide (RTP) et le nettoyage chimique agressif.

Chez Semicorex, nous nous concentrons sur la fourniture de bagues de mise au point durables de haute qualité et rentables pour le traitement des semi-conducteurs, nous donnons la priorité à la satisfaction du client et fournissons des solutions rentables. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme, offrant des produits de haute qualité et un service client exceptionnel.

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Paramètres des bagues de mise au point durables pour le traitement des semi-conducteurs

Caractéristiques des bagues de mise au point durables pour le traitement des semi-conducteurs

â Graphite haute pureté et revêtement SiC pour une résistance aux trous d'épingle et une durée de vie plus longue.

â Le substrat en graphite et la couche de SiC ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur.

â Le revêtement SiC est appliqué en couches minces pour améliorer la durée de vie.