Bateaux verticaux à plaquettes de quartz

Dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, les composants semi-conducteurs présents dans la chambre de réaction doivent répondre à des normes strictes de propreté élevée. Sinon, même des impuretés ou des contaminants à l’échelle micro ou nanométrique peuvent causer des dommages irréversibles aux performances et au rendement des dispositifs semi-conducteurs.

Bateaux à plaquettes de quartzsont généralement installés verticalement dans des chambres de réaction à haute température comme les fours à diffusion, les fours d'oxydation et les fours de recuit, où ils doivent être en contact direct avec les tranches. Les bateaux à plaquettes de quartz verticaux de Semicorex sont fabriqués à partir de matériaux de quartz de haute pureté pour satisfaire ces exigences de haute propreté. Cette sélection judicieuse de matériaux évite efficacement la contamination des tranches causée par les réactifs libérés par les bateaux à tranches pendant le processus de fabrication.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les bateaux à plaquettes doivent non seulement subir des cycles de chauffage-refroidissement répétés, mais également résister à la corrosion des gaz de traitement sur une période prolongée. Le quartz vertical de Semicorextrancheles bateaux présentent une stabilité dimensionnelle exceptionnelle dans les conditions de fonctionnement difficiles du cycle thermique constant en raison de leur stabilité thermique inhérente. Ces propriétés thermiques supérieures empêchent considérablement la déformation des tranches et les dommages causés par la dégradation de précision ou la déformation structurelle des bateaux de tranches de quartz verticaux. De plus, grâce à leur grande inertie chimique, les bateaux verticaux à plaquettes de quartz peuvent résister à la réaction avec des gaz corrosifs comme l'oxygène, la vapeur d'eau, le chlorure d'hydrogène et l'ammoniac. Cette propriété réduit considérablement la possibilité que la corrosion chimique compromette l’intégrité structurelle des bateaux à tranches de quartz verticaux.

En plus des avantages en termes de performances mentionnés ci-dessus, les bateaux à tranches de quartz verticaux de Semicorex démontrent également une excellente compétitivité en termes de précision dimensionnelle et de conception structurelle. Chacune de leurs pièces est fabriquée selon des techniques d'usinage de précision. Ce contrôle dimensionnel précis garantit un positionnement précis des plaquettes, minimisant les rayures et les fissures causées par le déplacement ou les collisions pendant le chargement, le traitement et le déchargement.