L'isolation rigide semicoréx est un feutre dur à fibre courte haute performance, spécialement développé pour la gestion thermique dans l'équipement épitaxie. Choisir Semicorex signifie choisir une expertise éprouvée, des matériaux premium et des solutions personnalisées qui garantissent la pureté, la fiabilité et l'efficacité la plus élevée pour vos processus de fabrication de semi-conducteurs. *
L'isolation rigide semicoréx est spécialement conçue pour le processus épitaxial SIC, avec une structure d'assemblage unique, une résistivité élevée, une prévention des étincelles et de bonnes performances d'isolation thermique. L'isolation rigide est une barrière thermique haute performance fabriquée à partir de fibres de céramique courtes premium. Issue dans une structure en feutre dure, ce matériau d'isolation rigide combine une excellente résistance mécanique avec des propriétés d'isolation thermique supérieures, ce qui le rend idéal pour les conditions exigeantes à l'intérieur des environnements de fabrication de semi-conducteurs.
Le carbure de silicium et de silicium de qualité semi-conducteur doit généralement être préparé dans un environnement à haute température en utilisant des instruments spécifiques tels que des fours de tirage en silicium monocristalliques et des fours de croissance monocristalliers en carbure de silicium, et il existe des exigences plus strictes pour l'environnement de préparation. Par exemple, le maintien de la température de préparation et la réduction des interférences d'impuretés externes. Pour cette raison, une isolation thermique s'est sentie tissée à partir de fibre de carbone de haute pureté a vu le jour, et avec ses avantages de moulage facile, pas facile à casser, de fortes performances d'isolation thermique et de faible teneur en impuretés, il est devenu un véritable "vêtements chauds" avant la naissance de semi-conducteurs.
En utilisant des feuilles de fibre de carbone à base de casserole et des fibres de carbone à base de viscose, des matières premières, une isolation rigide est préparée par des processus tels que le trempage, la liaison, le durcissement, le traitement thermique et l'usinage. Il est largement utilisé dans les équipements à haute température tels que les fours industriels de métallurgie de poudre, les fours de frittage sous vide, les fours à cristaux monocristallins photovoltaïques, les fours polycristallins et les fours de croissance cristalline semi-conducteurs. Il a une bonne résistance à la compression et d'excellentes performances d'isolation thermique. Comparé à l'isolation rigide, les avantages d'une installation facile, d'une taille stable, d'une faible atténuation d'isolation thermique et d'une longue durée de vie.