Bateau à plaquettes en céramique SiC

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat se distingue par une combinaison unique de propriétés matérielles qui le rendent parfaitement adapté aux rigueurs de la fabrication de semi-conducteurs et photovoltaïques :

Stabilité inébranlable à haute température :Le traitement des plaquettes implique souvent des températures extrêmes qui poussent les matériaux conventionnels dans leurs retranchements. Le SiC Ceramic Wafer Boat présente une résistance exceptionnelle aux hautes températures, conservant son intégrité structurelle et ses propriétés mécaniques même à des températures supérieures à 1 650 °C (3 000 °F). Cela permet leur utilisation dans des processus critiques tels que la diffusion et le recuit, où un contrôle précis de la température et la stabilité des plaquettes sont primordiaux.

Forteresse imprenable contre la corrosion :Les produits chimiques corrosifs et les substances agressives utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et photovoltaïques posent un défi important à l’intégrité des matériaux. Le SiC Ceramic Wafer Boat présente une résistance à la corrosion supérieure à celle de la plupart des métaux et autres céramiques, résistant à une exposition prolongée à une large gamme d'acides, de solvants, de sels et de composés organiques. Cette inertie garantit la longévité du bateau, empêche la contamination due à la dégradation des matériaux et préserve la pureté des étapes critiques du processus.

Une propreté sans effort pour une pureté sans compromis :Le maintien de surfaces de plaquettes impeccables est primordial pour obtenir des rendements et des performances élevés. La surface non poreuse du SiC Ceramic Wafer Boat et sa résistance aux attaques chimiques le rendent exceptionnellement facile à nettoyer. Les contaminants sont facilement éliminés, empêchant ainsi la contamination croisée entre les étapes du processus et garantissant l'environnement impeccable requis pour les dispositifs semi-conducteurs et photovoltaïques hautes performances.

Résilience aux contraintes thermiques et mécaniques :Le traitement des plaquettes implique souvent des changements rapides de température et une manipulation mécanique qui peuvent induire des contraintes et endommager les matériaux sensibles. Les propriétés mécaniques robustes du SiC Ceramic Wafer Boat, notamment une dureté élevée et une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques, garantissent son intégrité structurelle même dans des conditions exigeantes. Cela minimise le risque de génération de particules ou d’endommagement des plaquettes, contribuant ainsi à des rendements plus élevés et à une qualité de produit constante.

Transport sans glissement pour une précision inébranlable :Une manipulation précise des plaquettes est cruciale pour éviter les dommages et garantir un traitement cohérent. Le pouvoir lubrifiant inhérent et le faible coefficient de friction du SiC Ceramic Wafer Boat créent une surface naturellement antidérapante. Cela permet un mouvement fluide et contrôlé de la plaquette pendant le chargement et le déchargement, minimisant ainsi le risque de rayures, d'écaillage ou d'autres dommages susceptibles de compromettre l'intégrité de la plaquette.