Bateau en graphite solaire

Semicorex Solar Graphite Boat sert de plate-forme fiable pour contenir des tranches de semi-conducteurs pendant divers processus thermiques, tels que le recuit, la diffusion et le dépôt. Sa construction robuste et sa résistance exceptionnelle à la chaleur font de Solar Graphite Boat un outil indispensable pour la fabrication de semi-conducteurs, les laboratoires de recherche et d'autres applications industrielles avancées.

Conçu dans un souci de polyvalence, le bateau Solar Graphite peut être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques des clients. Qu'il soit recouvert de carbure de silicium (SiC) pour une durabilité et une résistance accrues à la corrosion chimique, ou laissé sans revêtement pour les applications où la pureté est primordiale, chaque bateau en graphite solaire est méticuleusement conçu pour offrir des performances et une longévité constantes.

Les principales caractéristiques du bateau solaire en graphite comprennent :

Stabilité thermique exceptionnelle : résiste aux températures extrêmes rencontrées dans le traitement des semi-conducteurs, garantissant une distribution uniforme de la chaleur et un contrôle précis des cycles thermiques.

Construction en graphite de haute pureté : fabriqué à partir de matériaux en graphite de qualité supérieure pour minimiser la contamination et maintenir l'intégrité des plaquettes semi-conductrices.

Ingénierie de précision : conçu pour s'adapter à différentes tailles et configurations de plaquettes, avec des dimensions et des finitions de surface précises pour garantir une manipulation sécurisée et un minimum de dommages aux plaquettes.

Les pièces en graphite revêtues de TaC jouent un rôle central dans l'optimisation des techniques clés de traitement des semi-conducteurs, notamment les processus de diffusion, le recuit d'oxydation, le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). En facilitant un contrôle précis de la température et en garantissant l'uniformité sur tous les substrats, les pièces en graphite revêtues de TaC contribuent de manière significative à améliorer la qualité des produits et l'efficacité de la fabrication.

Les pièces en graphite à revêtement Semicorex TaC sont méticuleusement conçues pour répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs. Qu'il s'agisse d'améliorer les processus de diffusion ou d'améliorer la qualité et l'efficacité de diverses techniques de dépôt, les pièces en graphite revêtues de TaC sont des atouts indispensables dans la poursuite de l'excellence dans la fabrication de semi-conducteurs.