Creuset enduit de TaC

Présentation du creuset à revêtement CVD Tac, la solution parfaite pour les fabricants et les utilisateurs d'équipements semi-conducteurs qui exigent le plus haut niveau de qualité et de performances. Nos creusets sont recouverts d'une couche CVD Tac (carbure de tantale) de pointe, qui offre une résistance supérieure à la corrosion et à l'usure, ce qui les rend idéaux pour une utilisation dans une variété d'applications de semi-conducteurs.

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Description du produit

Fabriqués à partir de matériaux de haute qualité et recouverts de la technologie CVD Tac la plus avancée, nos creusets offrent des performances et une longévité exceptionnelles. Le revêtement CVD Tac fournit une couche dense et très uniforme qui est très résistante aux attaques chimiques, à l'abrasion et aux chocs thermiques. Cela garantit que nos creusets conservent leur forme et leurs dimensions même après une utilisation répétée, réduisant ainsi le besoin de remplacements fréquents.

Nos creusets à revêtement CVD Tac sont également hautement compatibles avec une large gamme de processus de semi-conducteurs, notamment le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt de couche atomique (ALD). Que vous produisiez des micropuces, des cellules solaires ou d'autres dispositifs semi-conducteurs, nos creusets peuvent vous aider à obtenir des résultats optimaux.

Paramètres du revêtement TaC

Projets	Paramètres
Densité	14,3 (g/cm³)
Émissivité	0.3
ETC (×10^-6/K)	6.3
Dureté (HK)	2000
Résistance (Ohm-cm)	1×10^-5
Stabilité thermique	<2500℃
Changement de dimension du graphite	-10 ~ -20um (valeur de référence)
Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)

Les valeurs ci-dessus sont typiques