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Pièces en graphite revêtues de carbure de tantale

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Description du produit

Les pièces en graphite revêtues de carbure de tantale jouent un rôle crucial dans les processus de fabrication de semi-conducteurs, où la précision, la fiabilité et la résistance aux conditions difficiles sont primordiales. Ces composants spécialement traités, notamment les anneaux de gravure et les creusets, sont conçus pour résister aux environnements difficiles rencontrés dans la fabrication de semi-conducteurs.

Les pièces en graphite revêtues de carbure de tantale, telles que les anneaux de gravure, sont des composants essentiels utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs pour des processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Ces anneaux entrent en contact direct avec des gaz réactifs et des environnements à haute température pendant le processus de gravure.

Les pièces en graphite revêtues de carbure de tantale sont recouvertes d'une fine couche de carbure de tantale. Ce revêtement offre une résistance à l'usure et une protection exceptionnelles contre les produits chimiques corrosifs, garantissant ainsi une longévité et des performances constantes.

Le revêtement en carbure de tantale améliore la dureté et la stabilité chimique des anneaux de gravure, empêchant ainsi la dégradation et la contamination. Il contribue également à des résultats de gravure uniformes et à une durée de vie opérationnelle prolongée.