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Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Émissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500℃

Changement de dimension du graphite

-10 ~ -20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)



Les valeurs ci-dessus sont typiques




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Anneau de revêtement CVD TaC

Anneau de revêtement CVD TaC

L'anneau de revêtement Semicorex CVD TaC est un composant haute performance conçu pour les applications exigeantes nécessitant une résistance à l'usure, une stabilité thermique et une inertie chimique exceptionnelles. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Plaque planétaire à revêtement TaC

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La plaque planétaire à revêtement Semicorex TaC est un composant haute performance conçu spécifiquement pour les systèmes MOCVD. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Demi-lune supérieure avec revêtement TaC

Demi-lune supérieure avec revêtement TaC

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon est un composant spécialisé conçu pour les processus épitaxiaux haute performance dans la fabrication de semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale

Pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale

La pièce demi-lune avec revêtement en carbure de tantale Semicorex est un composant hautement spécialisé conçu pour être utilisé dans le processus de dépôt épitaxial. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Revêtement TaC Demi-lune

Revêtement TaC Demi-lune

Semicorex TaC Coating Half-moon est un composant spécialisé fabriqué à partir de graphite revêtu de carbure de tantale (TaC), conçu pour être utilisé dans les processus épitaxiaux. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Mandrin de revêtement TaC

Mandrin de revêtement TaC

Semicorex TaC Coating Chuck, le mandrin à vide de pointe équipé de revêtements TaC, spécialement conçu pour les fours à semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Semicorex produit Revêtement TaC depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Revêtement TaC en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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