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Le graphite de revêtement TaC est créé en recouvrant la surface d'un substrat en graphite de haute pureté d'une fine couche de carbure de tantale par un procédé exclusif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).



Le carbure de tantale (TaC) est un composé composé de tantale et de carbone. Il possède une conductivité électrique métallique et un point de fusion exceptionnellement élevé, ce qui en fait un matériau céramique réfractaire connu pour sa solidité, sa dureté et sa résistance à la chaleur et à l'usure. Le point de fusion des carbures de tantale culmine à environ 3 880 °C en fonction de la pureté et possède l'un des points de fusion les plus élevés parmi les composés binaires. Cela en fait une alternative intéressante lorsque les exigences de température plus élevées dépassent les capacités de performance utilisées dans les processus épitaxiaux de semi-conducteurs composés tels que MOCVD et LPE.


Données matérielles du revêtement Semicorex TaC

Projets

Paramètres

Densité

14,3 (g/cm³)

Émissivité

0.3

ETC (×10-6/K)

6.3

Dureté (HK)

2000

Résistance (Ohm-cm)

1×10-5

Stabilité thermique

<2500℃

Changement de dimension du graphite

-10 ~ -20um (valeur de référence)

Épaisseur du revêtement

Valeur typique ≥20um (35um ± 10um)



Les valeurs ci-dessus sont typiques




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Tube enduit de TaC

Tube enduit de TaC

Le tube revêtu Semicorex TaC représente le summum de la science des matériaux, conçu pour résister aux conditions extrêmes rencontrées dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Créé en appliquant une couche dense et uniforme de TaC sur un substrat de graphite isotrope de haute pureté via dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le tube revêtu de TaC offre une combinaison convaincante de propriétés qui surpassent les matériaux conventionnels dans des environnements exigeants à haute température et chimiquement agressifs. **

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Demi-lune enduite de TaC

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Halfmoon avec revêtement TaC Semicorex offre des avantages incontestables dans la croissance épitaxiale du carbure de silicium (SiC) pour l'électronique de puissance et les applications RF. Cette combinaison de matériaux répond aux défis critiques de l'épitaxie SiC, permettant une qualité de tranche supérieure, une efficacité de processus améliorée et des coûts de fabrication réduits. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des demi-lunes à revêtement TaC hautes performances qui allient qualité et rentabilité.**

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Bague d'étanchéité avec revêtement TaC

Bague d'étanchéité avec revêtement TaC

La bague d'étanchéité à revêtement Semicorex TaC appliquée aux composants d'étanchéité offre des avantages de performances exceptionnels dans les environnements exigeants de la fabrication de semi-conducteurs. Le revêtement TaC répond aux défis critiques liés à la résistance chimique, aux températures extrêmes et à l'usure mécanique, permettant des rendements de processus plus élevés, une disponibilité accrue des équipements et, en fin de compte, une réduction des coûts de fabrication. Chez Semicorex, nous nous engageons à fabriquer et à fournir des bagues d'étanchéité hautes performances à revêtement TaC qui allient qualité et rentabilité.**

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Récepteur recouvert de carbure de tantale

Récepteur recouvert de carbure de tantale

Le suscepteur recouvert de carbure de tantale Semicorex est un composant essentiel, jouant un rôle central dans les processus de dépôt essentiels à la création de tranches semi-conductrices. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Mandrin en carbure de tantale

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Le mandrin en carbure de tantale Semicorex est un composant avancé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, réputé pour ses propriétés thermiques et mécaniques exceptionnelles. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Anneau enduit de TaC

Anneau enduit de TaC

L’anneau revêtu Semicorex TaC constitue un composant essentiel qui répond à ces exigences exigeantes. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine*.

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Semicorex produit Revêtement TaC depuis de nombreuses années et est l'un des fabricants et fournisseurs professionnels de Revêtement TaC en Chine. Une fois que vous avez acheté nos produits avancés et durables qui fournissent un emballage en vrac, nous garantissons la grande quantité dans une livraison rapide. Au fil des ans, nous avons fourni à nos clients un service personnalisé. Les clients sont satisfaits de nos produits et de notre excellent service. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire commercial fiable à long terme ! Bienvenue pour acheter des produits de notre usine.
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