Chuck de broyage des bords de la plaquette

Le poulain de broyage à bord de la plaquette semicorex est une partie en céramique dédiée faite pour le processus de broyage des bords de la plaquette pendant la fabrication de semi-conducteurs. La céramique est faite de haute pureté, d'alumine blanche (al₂o₃) avec une résistance mécanique, une résistance chimique et une stabilité dimensionnelle pour soutenir le processus de broyage de la plaquette. Étant donné que les nouvelles technologies nécessitent des diamètres de plaquettes plus grands et des structures plus délicates dans les appareils, le broyage des bords de plaquette joue désormais un rôle important dans la prévention de l'écaillage des bords, de la micro-crackage et du rendement. Le réchauffeur de broyage en céramique en alumine offre une base de référence constante pour répondre à ces exigences de fabrication strictes.

Céramique en alumineest utilisé comme matériau de la construction en raison de ses incroyables propriétés physiques, chimiques et thermiques. L'alumine blanche a une dureté exceptionnelle avec uniquement le diamant, qui se classe plus haut sur l'échelle de dureté Mohs, qui permette à l'effet de broyage de résister à l'usure et à l'abrasion dans un avenir prévisible avec une utilisation répétitive. Compte tenu de la résistance mécanique considérable de l'alumine, la tranche peut être solidement saisie et maintenue, tandis que la rigidité de l'alumine ne permet pas la distorsion ou la déformation lorsqu'il y a une charge appliquée à la pièce. Compte tenu de cela, l'alumine est un excellent choix afin de produire des luminaires et des supports où la précision et la durabilité sont nécessaires.

La stabilité thermique est également un trait distinctif de la céramique d'alumine. Avec un point de fusion supérieur à 2000 ° C et une stabilité des chocs thermiques, le mandrin peut fonctionner dans des conditions où le chauffage de friction ou le changement de température peuvent se produire, il est cohérent avec une stabilité dimensionnelle est critique bien que la forme de bord de broyage puisse entraîner un peu de changement de dimension. La force de serrage reste forte pour maintenir systématiquement l'alignement dans le broyage des bords. La faible conductivité thermique de l'alumine ne devrait pas permettre au chauffage localisé de chauffer suffisamment la plaquette pour tout compromis de l'intégrité de la tranche dans le traitement des semi-conducteurs de substrats délicats.

D'un point de vue chimique, la céramique d'alumine a peu de réaction aux acides, aux alcalis et aux environnements plasmatiques du traitement des semi-conducteurs. Contrairement aux enfants métalliques qui peuvent corroder ou des luminaires polymères qui peuvent continuer à se dégrader sans surveillance explicite, la céramique d'alumine est à l'abri de ces cycles de service quotidiens dans le traitement des semi-conducteurs. Cette inertie assurera la contamination nulle de la surface de la plaquette et maintiendra la pureté du processus tout en limitant toute perte de rendement.

Dans le paysage de la fabrication des semi-conducteurs d'aujourd'hui, le processus de broyage des bords est multi-facettes: il prépare la tranche pour un traitement ultérieur et offre également un transport, une manipulation et une intégration sûres aux outils de lithographie et de gravure les plus avancés. En cela, le mandrin de broyage des bords de la plaquette est une pièce importante du puzzle de la fixation de la tranche en toute sécurité, en tenant avec précision, et il contribue directement à la fiabilité et aux performances du produit. Avec l'investissement dans la céramique en alumine, le temps est économisé en ayant la longévité prolongée d'un tel actif pour limiter les temps d'arrêt, réduire les coûts des pièces et maximiser l'efficacité de l'équipement (OEE).

Le mandrin de broyage des bords de la plaquette fabriqué à partir decéramique en aluminereprésente tous les avantages de la science des matériaux sophistiquée et de l'ingénierie de précision. Il illustre les qualités de dureté, de résistance à l'usure, de stabilité thermique et d'inertie chimique nécessaire au processus de fabrication de la plaquette semi-conducteur. Des performances robustes peuvent entraîner une qualité de bord de plaque fiable, un bon rendement et une durée de vie de l'équipement prolongé. Pour les fabricants de semi-conducteurs engagés dans une précision et une efficacité impeccables, le mandrin de broyage des bords de plaquette d'alumine est la solution.