Pot cloche à quartz de 15 po

Semicorex 15" Quartz Bell Jar est conçu pour relever ces défis, fournissant une solution haute performance pour le traitement par lots à moyenne et grande échelle où l'uniformité thermique et la pureté des matériaux sont essentielles pour maximiser le rendement. Dans les industries des semi-conducteurs et des couches minces, l'intégrité de la chambre de traitement est primordiale. À mesure que la taille des plaquettes augmente et que les nœuds rétrécissent, l'exigence d'un environnement propre, stable et chimiquement inerte devient non négociable.

1. Science des matériaux : la pureté de la silice fondue

La base de notre cloche est la haute puretésilice fondue (Quartz). Contrairement au verre standard, le quartz est presque entièrement composé de SiO2, offrant des propriétés uniques vitales pour la fabrication de semi-conducteurs :

Contamination ultra-faible : notre quartz est traité pour minimiser les oligo-éléments métalliques (tels que Al, Fe, Na et K) au niveau de parties par milliard (ppb). Cela empêche la diffusion d'impuretés dans la plaquette lors des cycles à haute température, garantissant ainsi l'intégrité électrique des dispositifs.

Résistance supérieure aux chocs thermiques : le quartz possède un coefficient de dilatation thermique (CTE) proche de zéro. Cela permet au Quartz Bell Jar de 15" de résister à une montée en température et à une trempe rapides sans risque de fracture ou de fatigue structurelle, une exigence essentielle pour les réacteurs à haut débit.

Excellente inertie chimique : le quartz est très résistant à la plupart des acides (à l'exception de l'acide fluorhydrique) et des gaz de traitement corrosifs, garantissant que la chambre ne se dégrade pas ou ne dégaze pas pendant des cycles de gravure ou de dépôt agressifs.

2. Ingénierie de précision et clarté optique

Le pot à cloche en quartz de 15" offre un volume maximal et une dynamique de flux de gaz optimale pour le traitement des plaquettes par lots. Le pot est doté d'une cheminée verticale (également connue sous le nom de col) qui est conçue de manière optimale pour fournir une entrée de gaz ou aider à extraire le gaz sous vide du pot, comme le montre l'image ci-dessus.

Transparence optique - Le haut niveau de transmission dematériel de quartzémettre des longueurs d'onde dans les régions ultraviolettes, visibles et infrarouges du spectre permet un traitement en temps réel ainsi que l'utilisation de lampes chauffantes externes pour un traitement thermique rapide (RTP).

Surfaces d'étanchéité renforcées - Le col du pot est doté d'un joint blanc opaque spécialement développé (également appelé joint rodé) qui fournit une interface hermétique (étanche à l'air) et étanche au vide entre la plaque de base du réacteur et le pot.

Recuit pour soulager le stress – Tous les bocaux à quartz de 38,1 cm sont soumis à un processus de recuit thermique rigoureux pour soulager les contraintes mécaniques internes qui ont été placées sur le pot par le processus mécanique de soufflage ou de façonnage du pot, réduisant ainsi considérablement le risque qu'un pot tombe en panne spontanément lorsqu'il est placé sous une charge sous vide.

3. Applications critiques dans la fabrication de semi-conducteurs

Notre pot à cloche en quartz de 15 po est spécialement conçu pour être intégré aux processus à haute valeur suivants :

Epitaxie de silicium : fournit un récipient transparent et non réactif pour la croissance de couches de silicium monocristallin de haute qualité.

CVD amélioré par plasma (PECVD) : résiste à l'environnement corrosif du plasma tout en conservant une rigidité diélectrique élevée.

Diffusion et oxydation : servant de chambre propre à haute température pour la formation d'oxydes de grille et d'entraînement de dopants.

Production de préformes de fibres optiques : idéale pour le dépôt de couches de silice de haute pureté dans la fabrication de verres spéciaux.

Chez Semicorex, nous traitons chaque cloche comme un équipement de laboratoire de précision. Notre processus comprend : Un approvisionnement strict en matériaux de qualité électronique vérifiéequartzlingots; une fabrication avancée qui fusionne les compétences traditionnelles de soufflage de verre avec le meulage et le polissage contrôlés par CNC ; et une inspection approfondie utilisant la lumière polarisée pour détecter les contraintes résiduelles et l'interférométrie laser pour des contrôles dimensionnels précis.