Chucks sous vide al2O3

Semicorex al₂o₃ Les mandrins à vide sont des composants en céramique microporeux de précision développés pour les applications de manipulation, de fixation et de traitement des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Fabriqué en alumine noire avec une porosité contrôlée de 35% à 40%, il s'agit d'un milieu extrêmement stable, propre et fiable pour les processus d'adsorption sous vide. Le Chuck combine le traitement en céramique du substrat sur une surface fonctionnelle en utilisant des techniques de fabrication avancées pour fournir des performances d'aspiration cohérentes pour la tranche fragile de l'utilisateur pendant les étapes de processus critiques.

NoirAlumine (al₂o₃); A un équilibre unique de résistance mécanique, de dureté et de résistance chimique par rapport aux métaux et aux polymères. La structure microporeuse est optimisée pour une porosité contrôlée afin de fournir une distribution de vide cohérente à travers la surface du mandrin à vide. Distribution constante du vide sur toute la surface complète d'un mandrin de plaquette minimise les concentrations de contraintes localisées, limitant le risque de distorsion de la plaquette, de broyage des bords et de rupture. Alors que la fabrication de plaquettes continue de se développer de diamètre, et que les géométries et les dispositifs deviennent plus fragiles, le rendement des processus et la fiabilité de la manipulation des plaquettes améliorée deviennent des exigences critiques.

La porosité contrôlée de 35 à 40% représente une caractéristique clé de ce mandrin sous vide. Un réseau de pores optimisé peut minimiser la turbulence lors de l'évacuation de l'air de la zone des pores et maintenir la force de maintien tout en préservant la résistance et la durabilité mécaniques. En revanche, les pinces mécaniques utilisent des plaques qui provoquent des points de contrainte localisées et travaillent contre les propriétés mécaniques de la tranche individuelle. La surface microporeuse de l'alumine est donc supérieure dans la maintenance des plaquettes plates et incongrument lors des approches mécaniques. Cela constitue un candidat parfait pour les processus semi-conducteurs de haute technologie qui bénéficient de la planéité et de la prise en douceur, y compris la lithographie, la gravure, le dépôt et la métrologie.

D'un point de vue thermique, le matériau d'alumine noir a une excellente capacité à maintenir la stabilité dimensionnelle à température élevée. Avec un faible coefficient d'expansion thermique, un mandrin sous vide est capable de rester précis même pendant les cycles de chauffage et de refroidissement, ce qui est un aspect essentiel en raison de la fluctuation rapide de la température se produisant souvent dans les environnements de traitement des plaquettes. La dureté et la résistance à l'usure de cette céramique augmentent également la longévité du mandrin, réduisant la fréquence de maintenance des opérateurs d'équipement et réduisant le coût total de possession.

L'inertie chimique de la céramique d'alumine est une autre propriété substantielle. Dans les Fabs semi-conducteurs, les composants de l'équipement doivent tolérer des produits chimiques agressifs, des agents de nettoyage ou des environnements plasmatiques sans détérioration. L'alumine noire a d'excellentes propriétés pour résister à la corrosion, à l'oxydation et / ou à la contamination de la surface, et conserve ainsi la structure et la stabilité structurelle / phasique pendant les périodes de cycle de fonctionnement excitées. Cette propriété en place signifie également que les plaquettes ne sont pas soumises à une contamination qui protège le circuit de la façon dont ces appareils fonctionnent, et fait également confiance aux protocoles de salle blanche.

Non seulement les délais d'aspiration al₂o₃ présentent d'excellentes performances fonctionnelles, mais la finition de surface est également étroitement contrôlée. La finition est créée en utilisant des processus d'usinage et de polissage de haute précision qui donnent une planéité et une douceur uniformes afin que des plaquettes délicates puissent être maintenues sans rayures ni dommages de surface. La porosité hautement modifiée du matériau donne un équilibre approprié entre l'aspiration et la protection de la surface, permettant une force de maintien adéquate sur la tranche, tout en évitant tout dommage aux substrats minces et cassants.

D'un point de vue opérationnel, les délais d'aspiration al₂o₃ sont des composants essentiels dans la fabrication contemporaine de semi-conducteurs. Il facilite l'automatisation, permettant aux plaquettes d'être ramassées, placées, alignées et traitées, satisfaisant de manière fiable les exigences du processus. La couleur noire de l'alumine aide également et offre des avantages pragmatiques en réduisant la réflexion de la lumière lors des inspections optiques et des processus de mesure, en particulier lorsque des équipements optiques à haute précision sont utilisés.

La combinaison de la technologie de céramique avancée avec une conception bien considérée a donné, dans les décharges sous vide al₂o₃, une solution de longue durée et de haute performance pour les défis de manipulation de la plaquette des fabricants de semi-conducteurs. Les ornes du vide al₂o₃ améliorent la productivité grâce à une perte de plaquette réduite, réduit les temps d'arrêt dus à la durabilité et améliore la stabilité du processus en offrant une force de maintien du vide cohérente.

Semicoréx al₂o₃ ornes à vide en noir microporeuxalumineest plus qu'un simple luminaire; Il s'agit d'un catalyseur critique de la fabrication de semi-conducteurs de précision. Avec sa porosité optimisée, ses propriétés de matériaux exceptionnelles et ses performances robustes, il assure une manipulation fiable de la plaque à travers les processus de fabrication les plus exigeants. Pour les fabricants qui cherchent à obtenir un rendement plus élevé, une amélioration de l'efficacité du processus et des performances d'équipement supérieures, le mandrin de vide de l'alumine noire est un choix indispensable.