Mandrins en carbure de silicium

Semicorexmandrins en carbure de siliciumsont des dispositifs d'adsorption fonctionnels constitués decarbure de siliciumMatériau céramique (SiC). Ils sont principalement utilisés dans les semi-conducteurs, le photovoltaïque, la fabrication de précision et d'autres scénarios qui ont des exigences extrêmement élevées en matière de résistance aux températures élevées, de résistance à l'usure, de résistance à la corrosion chimique et de propreté des matériaux.

Le matériau céramique SiC présente une résistance à haute température et maintient sa stabilité structurelle dans des environnements à haute température. Son excellente conductivité thermique lui permet de dissiper rapidement la chaleur générée lors de l'adsorption, évitant ainsi la surchauffe de la pièce. La dureté exceptionnelle du matériau le rend adapté à la préhension de pièces rugueuses ou dures. De plus, l’inertie chimique du matériau céramique SiC le rend résistant à la corrosion par les acides forts, les alcalis forts et les solvants organiques. Les faibles performances de précipitation des impuretés de ce matériau évitent la contamination par les impuretés et prolongent la durée de fonctionnement normale de l'équipement, répondant ainsi aux exigences ultra-propres de l'industrie des semi-conducteurs.

Caractéristiques typiques des mandrins en carbure de silicium Semicorex

1. Haute précision : la planéité est de 0,3 à 0,5 μm.

2. Polissage miroir

3.Ultra-léger

4. Haute rigidité

5. Faible coefficient de dilatation thermique

6. Excellente résistance à l'usure

Les scénarios d'application des mandrins en carbure de silicium

Fabrication de semi-conducteurs

Transfert et traitement de la tranche : dans des processus tels que la photolithographie et la gravure, la tranche doit être adsorbée de manière stable dans un environnement sous vide pour éviter les erreurs de déplacement.

Résistance à la corrosion du plasma : dans le processus de gravure des semi-conducteurs, une excellente résistance à la corrosion peut prolonger la durée de vie du produit.

Production de cellules photovoltaïques

Découpe de tranches de silicium : absorbe les tranches de silicium pour résister aux vibrations de coupe et réduire le taux de fragmentation des tranches de silicium.

Fabrication d'optique et d'électronique de précision

Traitement du substrat saphir : les substrats saphir utilisés dans la fabrication de puces LED nécessitent une adsorption sous vide. La force d'adsorption doit vaincre le poids du substrat et éviter de rayer la surface du produit.

Les mandrins en carbure de silicium sont devenus des consommables clés dans le domaine de la fabrication haut de gamme en raison de leurs excellentes performances, favorisant le progrès technologique dans des secteurs tels que les semi-conducteurs, le photovoltaïque et la fabrication de précision.