Chucks d'alumine poreux

Les enfants en alumine poreux semicoréx sont spécialement conçus pour les plaquettes les plus délicates. Leur conception poreuse fournit l'assurance d'une distribution de vide cohérente à travers la surface du mandrin, ce qui assure une réduction du stress localisé et aide à prévenir l'écaillage et la rupture des bords. Le serrage mécanique (solide ou autre) n'est pas aussi efficace que le réseau microporeux qui contient des plaquettes même délicates sans la contrainte mécanique trop limitée tout en fixant la plaquette en toute sécurité, car la structure microporeuse empêche l'usure et fournit une tension douce. La nécessité d'une adsorption uniforme sur toute la surface du mandrin est particulièrement critique pour les plaquettes plus grandes et plus minces qui peuvent tolérer beaucoup moins de stress pendant la manipulation automatisée et tout en exécutant des étapes de traitement de haute précision.

Optimisé pour une porosité de 35 à 40%, le mandrin développe un réseau de pores interconnexés qui servent à évacuer l'air tout en fournissant une résistance mécanique suffisante pour maintenir la tranche en place contre les forces de processus. Cela signifie que la force de maintien du vide reste stable tout en déplaçant les plaquettes, même en succession rapide, tout en effectuant une séquence de processus complexe. L'adsorption dans un réseau microporeux offre plus de stabilité que de simplement créer des différences de pression dans le système de vide.

L'alumine noire (al₂o₃), elle-même est le matériau ultime car il est dur, résistant à l'usure et chimiquement inerte. Il ne dégradera aucune surface appréciable et n'est pas affecté par des cycles répétés de la tranche (placement / adsorption / refroidissement). Le noiralumineest dimensionnellement stable, donc ne changera donc pas malgré les changements de température qui se produisent naturellement pendant le processus (chauffage et refroidissement) ou dans l'environnement.

La résistance chimique est un autre avantage clé de l'alumine noire. Le mandrin peut fonctionner dans des environnements de nettoyage, de plasma et de gravure agressifs sans compromettre son intégrité structurelle. Son inertie empêche la contamination de la surface de la tranche, garantissant une pureté élevée du processus et l'adhésion aux normes de salle blanche.

La structure microporeuse offre également une surface de soutien qui soulage la concentration de stress sur des plaquettes minces et cassantes. En tandem avec une planéité de surface précise et une finition de surface lisse, les ornes de l'alumine poreuses minimiseront la survenue de micro-cracks et de rayures qui pourraient compromettre l'intégrité de la tranche à la main.

Céramique en aluminea une superbe dureté, une résistance mécanique élevée, un faible coefficient thermique d'expansion et une excellente stabilité thermique, ce qui en fait un matériau pratique pour une application de semi-conducteur de précision. De plus, son inertie chimique signifie qu'elle peut résister aux acides, aux alcalis et au plasma, tandis que les propriétés de résistance à l'usure garantissent la durabilité, ces avantages font de l'alumine le matériau de choix pour les enfants microporeux et assurent la fiabilité et la prévisibilité des performances.

En conclusion, les ornes de l'alumine poreuses sont conçues pour fournir une manipulation uniforme et survivable. Sa structure microporeuse d'alumine noire offre même une adsorption de vide (uniformité) tout en minimisant le stress mécanique et en réduction des dommages aux tranches. En tant que mandrin, la porosité substantielle et optimale ainsi que des propriétés thermiques, mécaniques et chimiques exceptionnelles, aident à optimiser la sécurité, la valeur et la fiabilité du fonctionnement dans des conditions de fabrication sévères. L'excellente combinaison de manipulation robuste, uniforme et sûre que les branches poreuses d'alumine peuvent offrir aux fabricants sont tout simplement rares et uniques.