Bras en céramique en alumine

Le bras céramique de l'alumine semicoréx est un composant d'ingénierie qui est développé aux spécifications les plus élevées pour les applications semi-conductrices. Fabriqué en alumine de haute pureté (al₂o₃), c'est un bras robotique qui présente une combinaison unique de résistance mécanique, de stabilité thermique et de résistance chimique. Le bras est non seulement conçu pour être utilisé pour la manipulation des plaquettes seuls, mais doit également fournir un support de processus dans les sites de fabrication avancés. Il doit également s'assurer que les plaquettes sont transférées, positionnées et traitées sans contamination ni dommages; Améliorer les rendements et la fiabilité du processus.

Alumineest l'une des céramiques techniques qui trouvent l'utilisation la plus large dans le domaine de la céramique technique. L'alumine est connue pour sa dureté, sa résistance à l'usure et sa stabilité dans des environnements agressifs. Pour que les objectifs du bras céramique gérer la manipulation de la plaquette sans introduire de contamination, il peut exploiter les propriétés de l'alumine et fournir un niveau de résistance beaucoup plus élevé à l'abrasion en raison de sa haute pureté et de sa taille de particules; Par conséquent, il ne générera pas de particules excessives pendant ses mouvements répétés, ni avec des plaquettes ou avec des substrats semi-conducteurs de tout autre type.  La densité et la faible porosité qui hébergent également limiter davantage le potentiel de la libération des particules et garantit qu'il répond aux exigences ultra-nettoyées du développement de semi-conducteur sans nuire à la propreté requise pour la manipulation de l'appareil submicronique.

Aluminepossède une stabilité thermique exceptionnelle en plus de sa résistance mécanique. Le bras céramique d'alumine peut supporter des températures de processus extrêmes sans déformer, craquer ou perdre de force. Cette propriété le rend idéal pour l'incorporation dans n'importe quelle étape de processus qui comprend l'exposition à des températures élevées, comme la diffusion, l'oxydation ou les étapes recueils. Les WAVERS auront une amélioration de la fiabilité du transfert dans un environnement de processus difficile car il conserve l'intégrité mécanique sous cyclisme thermique.

La résistance chimique est un autre positif fondamental du bras céramique d'alumine. Dans la fabrication de semi-conducteurs, des traitements sont souvent effectués sur des plaquettes qui incluent des acides forts, des alcalis et d'autres produits chimiques agressifs. Alors que les composants métalliques peuvent corroder ou lixiviation des impuretés, l'alumine est chimiquement inerte, ce qui protège l'intégrité du bras et des plaquettes qu'il gère. Par conséquent, l'inertie prolonge la durée de vie du composant tout en réduisant la possibilité de contamination pendant les étapes de processus critiques comme le nettoyage humide ou le dépôt chimique de vapeur.

Le bras céramique en alumine est conçu en mettant l'accent sur la compatibilité et la précision. Chaque bras est conçu sur des tolérances dimensionnelles étroites, assurant un alignement et un mouvement et une compatibilité précis avec des équipements de manutention automatisée et des systèmes robotiques. La finition de surface lisse et poli dispose d'une interface à faible frottement avec la tranche qui réduit les chances de gratter la tranche, ce qui est essentiel pour l'intégrité de la plaquette / la propreté environnementale et la réduction du taux de défaut. Ces tolérances d'ingénierie garantissent que le bras fonctionne librement dans un environnement à haut débit rapide et permet des flux de travail semi-conducteurs humains et entièrement automatisés pour le bras.

Le bras en céramique d'alumine va au-delà des performances chimiques et mécaniques et des impact sur l'efficacité opérationnelle et les économies de coûts à plusieurs niveaux. La nature éprouvée durable de la céramique permet au bras de surpasser les matériaux composites comme les plastiques ou l'aluminium en termes de longévité de conception sous charge mécanique répétitive, et réduit donc la quantité de temps d'arrêt opérationnel et / ou de remplacement impliqués. La capacité de résister à des environnements sévères comprend la propreté de l'environnement, tout en produisant moins d'interruptions de fabrication conduisant à une production de plaquettes cohérente améliorée, c'est-à-dire un rendement, et finalement moins de ferraille conduisant à un retour sur investissement plus élevé (retour sur investissement) pour les fabricants de semi-conducteurs.

Les options d'utilisation duCéramique en alumineARM pour les processus semi-conducteurs est pratiquement sans fin - des tranches de déplacement entre les bancs humides, les fours de diffusion et les chambres de dépôt aux outils d'inspection et de métrologie à l'aide de substrats. La polyvalence de ce produit permet non seulement d'être utilisée pour les applications de manutention, mais d'autres situations d'automatisation où la précision, la propreté et la fiabilité sont nécessaires sont également possibles. L'industrie des semi-conducteurs se déplace inexorablement vers des nœuds plus petits et une complexité accrue dans la fabrication de l'appareil, et alors que l'industrie continue d'exiger de meilleures solutions de manipulation qui sont fiables et non contamiantes, le bras robotique en céramique crée un chemin clair vers l'avant.