Bras sic

Semicorex SIC ARM est un appareil spécialisé qui a été développé pour gérer les plaquettes avec une fiabilité et une précision maximales. Les bras de transfert de plaquette, comme le bras SIC, apparaissent dans des équipements avancés de fabrication de semi-conducteurs comme les réacteurs épitaxiaux, les systèmes d'implantation ionique, le traitement thermique, etc. Les bras de transfert de plaquettes font partie intégrante du mouvement précis des plaquettes dans des environnements complexes de gestion des plaquettes pour assurer un transfert sûr et précis du traitement des wakeurs. Construit à l'aide de haute puretécarbure de siliciumcombiné avec les propriétés de matière première de 

Une stabilité thermique et chimique exceptionnelle et un excellent contrôle d'usinage font du bras sic une solution de confiance pour la fabrication future de semi-conducteurs.

SIC ARM a ses performances exceptionnelles dans des environnements thermiques extrêmes. Dans la croissance épitaxiale ainsi que d'autres processus à haute température, les composants de manutention des plaquettes peuvent être soumis à une chaleur soutenue qui détériore facilement les caractéristiques d'un matériau conventionnel. Le carbure de silicium conserve à la fois la force et la précision dimensionnelle (tolérances dimensionnelles finies) à des températures élevées, ce qui garantit que les plaquettes peuvent rester avec précision pendant le transfert ou le traitement, et éliminer pratiquement le désalignement, la guerre ou la contamination. La céramique avec les performances exceptionnelles d'un produit SIC; Comme le bras SIC ne s'oxyde pas, ne déforme pas comme un métal, ni les caractéristiques de performance de défaillance comme une céramique, qui sont des fissures de stress.

La résistance chimique est une autre propriété déterminante du bras SIC. Dans les environnements semi-conducteurs, les gaz corrosifs, les produits chimiques réactifs et l'exposition au plasma sont courants. Un bras de manipulation qui se détériore dans de telles conditions ne risque pas seulement la défaillance mécanique mais également la contamination des plaquettes.Carbure de siliciumFournit une surface chimiquement inerte qui résiste à ces conditions agressives. Le résultat est un composant très fiable qui maintient l'intégrité de la surface et la propreté, sauvegarde des plaquettes à partir d'impuretés qui pourraient compromettre les performances de l'appareil. Cette durabilité réduit considérablement les temps d'arrêt de l'équipement, abaisse la fréquence de remplacement et améliore la cohérence du processus.

Au-delà de sa résilience matérielle, SIC ARM rencontre également un degré élevé de précision d'usinage. La manipulation des plaquettes nécessite une précision au micromètre; Les tolérances qui sont même légèrement hors de spécification peuvent provoquer des changements de géométrie ou de finition de surface qui peuvent provoquer des risques plus élevés dans la rupture de la plaquette ou le désalignement des plaquettes. En utilisant des technologies de fabrication modernes, les bras SiC sont produits avec des tolérances, une planéité et des surfaces lisses appropriées. Être des applications de haute précision est idéal pour assurer un positionnement cohérent des plaquettes et des performances reproductibles pendant des milliers de cycles de manutention, ce qui est idéal pour la production de semi-conducteurs à volume élevé qui a des spécifications exigeantes.

La polyvalence est un autre avantage des armes SIC. Différents outils et processus semi-conducteurs nécessitent des bras de différentes géométries, tailles et conceptions. Étant donné que les bras SIC peuvent être modifiés pour incorporer ces caractéristiques de conception spécifiques, elles peuvent facilement s'adapter à une large gamme de systèmes, qu'il s'agisse d'un outil d'épitaxie, d'un équipement d'implantation ionique ou d'un réacteur de traitement thermique. Les finitions de surface, les conceptions structurelles et les finitions peuvent également être modifiées et conçues pour fournir les meilleures performances en ce qui concerne l'application particulière.

Les armes SIC ont également une efficacité opérationnelle. Les remplacements moyens de durabilité et de fiabilité du SIC sont peu fréquents et les temps d'arrêt sont minimisés; Les deux signifient des coûts de maintenance à long terme inférieurs. Pour les FAB de semi-conducteurs de production, cela signifie réaliser un meilleur débit, le potentiel de stabilité plus importante dans la production et les rendements des appareils plus élevés.

Les bras SIC ont connu une utilisation généralisée depuis leur introduction dans la communauté semi-conducteurs spécifiquement dans les systèmes de transfert de plaquettes où ils doivent résister à la fois à la fois des contraintes mécaniques et des conditions de traitement très rigoureuses. Qu'il s'agisse de tranches de réacteurs épitaxy, de les maintenir en place pendant l'implantation ionique ou de les transférer dans des environnements de traitement de gaz ou thermique, le bras SIC offre une manipulation de plaquettes sécurisée, précise et sans contamination. La fiabilité est apparente grâce à l'introduction des armes SIC dans le portefeuille moderne d'équipements de semi-conducteurs.

Semicorex SIC ARM est une combinaison réussie des propriétés souhaitables dematériau en carbure de silicium, Ingénierie de précision et stabilité à haute température. La combinaison de la stabilité chimique, la capacité d'être usinée et la fabrication de précision rend le bras SIC adapté pour fournir une manipulation fiable dans les processus semi-conducteurs les plus difficiles. Le bras SIC est personnalisable et durable pour les avantages consommables de l'utilisateur final pour la manipulation des plaquettes aidant et offrent des avantages dans les performances opérationnelles à long terme en ce qui concerne l'efficacité, le rendement et la stabilité des processus. Les fabricants à la recherche de systèmes de manutention moderne et de pointe de pointe ou même de solutions de manutention des plaquettes hors boîte recherchent et comptent sur le bras SIC en tant que système de transfert et de manutention de la plaquette et capable pour les exigences avancées de l'industrie des semi-conducteurs.