Doigts sic

Les doigts SIC semicorex sont des pièces spécialisées dont les principales applications se trouvent dans des équipements de traitement des semi-conducteurs, en particulier dans les systèmes de manipulation et de support de la plaquette. Leur fonction principale est de soutenir ou de maintenir des plaquettes en place pendant des processus tels que l'épitaxie, l'implantation ionique ou le traitement thermique, dans lequel la stabilité dimensionnelle ou la propreté, ainsi que la fiabilité, est critique. Le carbure de silicium combine la résistance mécanique avec une excellente résistance thermique et chimique, et ces caractéristiques sont nécessaires dans les lignes de fabrication avancées de semi-conducteurs, de sorte que les doigts sic sont indispensables dans de telles applications.

La fonction de vente decarbure de siliciumEn tant que matériau, la capacité de résister à des températures de fonctionnement extrêmement élevées sans perdre son intégrité mécanique. Dans les processus semi-conducteurs tels que la croissance épitaxiale, les WALFER connaissent soudainement des températures élevées et sur des périodes prolongées. Les doigts SIC une fois engagés maintiendront leur alignement et leur résistance tout au long des cycles à haute température afin que les plaquettes restent en place, minimisant le mouvement pour éviter la déformation ou le désalignement pour maintenir une uniformité adéquate de processus pour obtenir un rendement de dispositif acceptable. SiC Fingers provide much longer service than typical ceramic or metal supports while being much more consistent in high-temperature loads.

Un avantage clé des doigts sic est leur résistance chimique supérieure. Toutes les applications de semi-conducteurs impliquent des gaz réactifs, une exposition aux plasmas et une exposition à des produits chimiques corrosifs. Le matériau corrodible ou en décomposition réagit en libérant des particules ou des contaminants qui peuvent dégrader la qualité de la tranche.Carbure de siliciumA une surface chimiquement inerte qui ne fixera ni ne réagira aux produits chimiques agressifs, produisant un environnement de processus propre et un risque de contamination significativement réduit. Cela ajoute à la durabilité de l'outil de manipulation de la plaquette, contribuant directement aux résultats de processus stables et reproductibles qui est essentiel pour produire des dispositifs semi-conducteurs avec un rendement élevé.

La précision est une autre considération clé dans la conception du doigt SIC. La manipulation des plaquettes implique des composants avec des tolérances extrêmement étroites, les micromètres peuvent provoquer un désalignement de la tranche, augmenter le potentiel de rupture de la tranche ou provoquer des incohérences dans les processus. En utilisant les dernières technologies d'usinage et de polissage, les doigts sic peuvent être produits avec les tolérances et la planéité de surface et la finition lisse les plus élevées. Cela garantit une plate-forme stable et sans inertie pour le support de la plaquette avec un potentiel réduit de formation de particules, et des performances répétées des applications de manipulation de la plaquette dans un équipement automatique de traitement des semi-conducteurs.

En plus des avantages du matériau de base des doigts SIC, ils peuvent également être rendus spécifiques pour répondre à chaque équipement ou exigence de processus. Différentes tailles de plaquettes, différentes conceptions de réacteurs et une manipulation différente de l'opérateur nécessitent des solutions fabriquées spécifiques. Les doigts SIC peuvent être effectués dans n'importe quelle géométrie ou dimension, et le traitement de surface peut être appliqué comme adapté à des applications spécifiques.

Les doigts SIC réduisent également les coûts d'exploitation, en raison de leur longue durée de vie utilisable (abaissement de la fréquence du remplacement) et de leurs découvertes réduites en raison de la défaillance ou de la contamination des dépôts à partir de stress thermique ou chimique. Avec la durabilité et la fiabilité des fabricants de semi-conducteurs, l'utilisation des doigts SIC entraîne une augmentation de la disponibilité, une baisse des coûts consommables et une efficacité globale de processus améliorée.

Pratiquement, les doigts SIC sont utilisés principalement dans les réacteurs de croissance épitaxie, car ils fournissent une tenue de plaquette stable pendant des processus thermiques et chimiques extrêmes. They are also utilized in ion implanters or high temperature anneals where mechanical stability, as well as chemical inertness is critical. Dans toutes les applications, des performances cohérentes rendent également leur utilisation dans la manipulation des plaquettes essentielle pour fournir l'uniformité des processus, l'intégrité des plaquettes et la qualité.

Les doigts semi-orecorex, sont de forts exemples des avantages dematériau en carbure de silicium for high temperature, chemical resistant, precision engineered semiconductor components. L'environnement matériel des doigts SIC offre une stabilité à haute température, une résistance chimique exceptionnelle et la capacité de fabriquer des normes de haute précision. Un composant robuste et personnalisable est essentiel pour obtenir une production stable et une amélioration du rendement et de la rentabilité pour les fabricants de semi-conducteurs. SiC Fingers continue to be an advanced and reliable solution for fabs focused on process stability and quality assurance.