Bagues de mise au point en céramique pour semi-conducteurs

Céramique Semicorexbague de mise au pointLes produits pour semi-conducteurs sont les solutions idéales adaptées aux conditions difficiles de fonctionnement de la gravure au plasma. Au cours du processus sophistiqué de gravure des semi-conducteurs, il est crucial de contrôler avec précision la distribution du plasma, ce qui peut garantir la stabilité de la chambre de gravure et l'uniformité constante de la gravure des semi-conducteurs. En tant que composants indispensables utilisés dans les équipements de gravure avancés, les bagues de focalisation sont généralement positionnées autour des tranches semi-conductrices et entrent en contact direct avec elles. Les performances des bagues de mise au point ont un impact direct sur la répétabilité du processus, le rendement du produit et la disponibilité des équipements.

Avantages des bagues de focalisation en céramique Semicorex pour semi-conducteurs

1. Pureté matérielle ultra-élevée

La pureté de notreCVD SiCle matériau dépasse 99,9995 %. Cela peut empêcher efficacement la contamination de la chambre de gravure et des tranches semi-conductrices provoquée par une pureté insuffisante du matériau.

2. Résistance exceptionnelle à la corrosion

Les bagues de focalisation en céramique Semicorex pour semi-conducteurs sont fabriquées à partir de CVD SiC, offrant une excellente résistance à l'oxydation, à l'érosion et à la corrosion chimique, étant particulièrement efficaces contre les gaz de traitement tels que HF et HCI, ainsi que le gaz plasma.

3. Performance de résistance supérieure

L'uniformité de la résistance des bagues de focalisation en céramique Semicorex pour semi-conducteurs est inférieure à 5 %.

Plages de résistivité : basse résolution. (<0,02 Ω·cm), moyenne résolution. (0,2–25 Ω·cm), haute résolution. (>100 Ω·cm).

Fonctions des bagues de mise au point en céramique Semicorex pour semi-conducteurs

1. Contrôler et uniformiser le champ électrique de bord et la distribution du plasma

Les anneaux de focalisation en céramique Semicorex pour semi-conducteurs peuvent contrôler la répartition du champ électrique à l'intérieur de la chambre de gravure et obtenir une gaine de plasma plus uniforme autour des tranches de semi-conducteur, permettant au plasma d'impacter la surface de la tranche de manière verticale et uniforme. De cette manière, l'effet de bord de gravure peut être considérablement réduit et la précision de gravure peut être considérablement améliorée.

2. Protégez le mandrin électrostatique

Sans la protection des bagues de focalisation lors du processus de gravure, le mandrin électrostatique sera exposé au bombardement et à l'érosion du plasma à haute énergie. Les mandrins électrostatiques sont fabriqués à partir de matériaux coûteux avec des coûts de remplacement extrêmement élevés. L'utilisation de bagues de mise au point peut réduire efficacement la corrosion du plasma sur le mandrin électrostatique et minimiser les coûts de maintenance et de remplacement du mandrin électrostatique.