Pomme de douche CVD-SiC

La pomme de douche Semicorex CVD-SiC offre une durabilité, une excellente gestion thermique et une résistance à la dégradation chimique, ce qui en fait un choix approprié pour les processus CVD exigeants dans l'industrie des semi-conducteurs. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Description du produit

Dans le contexte d'une pomme de douche CVD, une pomme de douche CVD-SiC est généralement conçue pour répartir uniformément les gaz précurseurs sur la surface du substrat pendant le processus CVD. La pomme de douche est généralement positionnée au-dessus du substrat et les gaz précurseurs s'écoulent à travers de petits trous ou buses à sa surface.

Le matériau CVD-SiC utilisé dans la pomme de douche offre plusieurs avantages. Sa conductivité thermique élevée aide à dissiper la chaleur générée pendant le processus CVD, assurant une répartition uniforme de la température sur tout le substrat. De plus, la stabilité chimique du SiC lui permet de résister aux gaz corrosifs et aux environnements difficiles couramment rencontrés dans les procédés CVD.

La conception d'une pomme de douche CVD-SiC peut varier en fonction du système CVD spécifique et des exigences du processus. Cependant, il se compose généralement d'une plaque ou d'un composant en forme de disque avec un réseau de trous ou de fentes percés avec précision. Le motif et la géométrie des trous sont soigneusement conçus pour assurer une distribution de gaz et des débits uniformes sur la surface du substrat.