Dans un appareil à plasma pour la gravure et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de matériaux sur des tranches, des gaz de traitement sont introduits dans une chambre de traitement à travers une tête de douche en graphite revêtue de SiC CVD. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Le pommeau de douche en graphite semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) est un composant spécialisé utilisé dans divers procédés industriels, tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Il joue un rôle crucial dans la fourniture de gaz précurseurs ou d'espèces réactives à la surface d'un substrat lors de ces processus de dépôt.
La pomme de douche en graphite revêtue de SiC CVD est fabriquée en graphite de haute pureté et revêtue d'une fine couche de SiC par la méthode CVD. Le pommeau de douche en graphite à revêtement CVD SiC combine les propriétés bénéfiques du graphite et du SiC, ce qui en fait un composant essentiel dans divers processus de dépôt où une distribution de gaz précise et uniforme est requise, ainsi qu'une résistance aux températures élevées et aux environnements chimiques.
Caractéristiques:
Résistance chimique
Stabilité thermique
Surface lisse et uniforme
Contamination réduite