Pommeau de douche en graphite avec revêtement CVD SiC

Dans un appareil à plasma pour la gravure et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de matériaux sur des tranches, des gaz de traitement sont introduits dans une chambre de traitement par l'intermédiaire d'une pomme de douche en graphite revêtue de SiC par CVD. Semicorex s'engage à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs, nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

envoyer une demande

Description du produit

La pomme de douche en graphite à revêtement Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) est un composant spécialisé utilisé dans divers processus industriels, tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD). Il joue un rôle crucial dans la délivrance de gaz précurseurs ou d'espèces réactives sur la surface d'un substrat au cours de ces processus de dépôt.

La pomme de douche en graphite à revêtement CVD SiC est fabriquée en graphite de haute pureté et recouverte d'une fine couche de SiC par méthode CVD. La pomme de douche en graphite à revêtement CVD SiC combine les propriétés bénéfiques du graphite et du SiC, ce qui en fait un composant essentiel dans divers processus de dépôt où une distribution précise et uniforme du gaz est requise, ainsi qu'une résistance aux températures élevées et aux environnements chimiques.

Caractéristiques:

Résistance chimique

Stabilité thermique

Surface lisse et uniforme

Contamination réduite