Tubes de four à revêtement CVD SiC

Semicorex CVD avec revêtement SiCtubes de foursont des tubes de traitement de grand diamètre qui fournissent une chambre de réaction stable pour le traitement à haute température des tranches semi-conductrices. Ils sont conçus pour fonctionner dans des atmosphères contenant de l'oxygène (gaz réactif), de l'azote (gaz protecteur) et de petites quantités de chlorure d'hydrogène, avec une température de fonctionnement stable d'environ 1 250 degrés Celsius.

Les avantages des tubes de four à revêtement Semicorex CVD SiC

1. Technologie de moulage avancée et fabrication flexible de personnalisation

Formé via la technologie d'impression 3D, SemicorexCVD SiCLes tubes de four revêtus présentent une structure céramique intégrale et sans soudure, sans aucune zone faible. Cette technologie de moulage garantit une étanchéité exceptionnelle aux gaz, qui empêche efficacement les contaminants externes et maintient la température, la pression et les environnements atmosphériques requis pour le traitement des plaquettes semi-conductrices.

De plus, la technologie d’impression 3D prend également en charge la production de formes complexes et le contrôle dimensionnel précis. La production sur mesure est disponible pour le diamètre, la longueur, l’épaisseur de paroi et les tolérances selon diverses exigences afin de garantir une compatibilité totale avec les fours verticaux ou horizontaux des clients.

2. Sélection méticuleuse des matériaux et contrôle de la propreté

Les tubes de four Semicorex CVD à revêtement SiC sont fabriqués à partir d'un matériau de haute pureté de qualité semi-conducteur soigneusement sélectionné. La teneur en impuretés de leur matrice est contrôlée à moins de 300 PPM et la teneur en impuretés du revêtement CVD SiC est limitée à moins de 5 PPM. Ce contrôle rigoureux de la pureté réduit considérablement la contamination des tranches causée par les impuretés métalliques précipitant dans des conditions de fonctionnement à haute température, ce qui améliore considérablement le rendement et les performances des dispositifs semi-conducteurs finaux. En outre, l'utilisation du revêtement CVD SiC améliore la résistance aux hautes températures, la résistance à la corrosion chimique et la stabilité thermique des tubes de four Semicorex CVD SiC revêtus, prolongeant ainsi considérablement leur durée de vie dans des conditions de fonctionnement difficiles.

Bénéficiant de nombreux avantages, les tubes de four Semicorex CVD revêtus de SiC sont capables de fournir un espace de réaction stable, adapté et ultra-propre pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. La répartition constante de la température et l'atmosphère gazeuse stable à l'intérieur des fours, rendues possibles par les tubes de four à revêtement Semicorex CVD SiC, contribuent à obtenir une diffusion de dopage, une oxydation thermique, un recuit et un dépôt de couches minces plus précis.