Tubes de traitement SiC

Les tubes de traitement Semicorex SiC sont les composants structurels importants dans l'oxydation, la diffusion, RTA/RTP dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit généralement d'un tube de grand diamètre servant d'espace de four de réacteur, tous les processus chimiques se déroulant à l'intérieur. La solidité et la résistance aux chocs thermiques sont donc des points très fondamentaux pour le produit.

Les tubes de procédé SiC sont fabriqués parCarbure de silicium fritté, il peut s'agir de SiSiC, SSiC ou RSiC, et du revêtement CVD SiC sur la surface, qui formera une couche d'ultra haute pureté. Il peut empêcher la pollution par des particules, des cendres, etc. Et le matériau a une très haute résistance aux chocs thermiques, de sorte que les tubes de traitement SiC peuvent rester stables dans la résistance aux températures élevées et empêcher les impuretés de se précipiter à haute température et ainsi de polluer l'environnement.

Ces tubes de procédé SiC sont conçus pour être utilisés dans des atmosphères contenant du gaz réactif (oxygène), du gaz de protection (azote) et des quantités minimales de chlorure d'hydrogène gazeux, et offrent une résistance chimique, une stabilité thermique et une pureté des matériaux exceptionnelles jusqu'à 1 250 °C. Les tubes de traitement Semicorex SiC combinent une fabrication d'impression 3D de pointe avec un revêtement par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour offrir des performances et une durée de vie supérieures dans les conditions thermiques et chimiques les plus extrêmes.

Les tubes Semicorex SiC Process sont produits via un processus de moulage intégré par impression 3D plutôt qu'un tube conventionnel formé ou assemblé par presse. Ce processus de fabrication permet d'obtenir une structure continue et cohérente de la céramique, sans joints ni zones faibles, créant un degré élevé de complexité et de fidélité dimensionnelle, ce qui peut atténuer les concentrations de contraintes tout en améliorant la résistance mécanique. De plus, la structure monolithique assure une étanchéité au gaz naturel, réduisant ainsi la contamination et les fuites lors des processus à haute température.

LeSiCdu corps est un matériau à très faible teneur en impuretés (< 300 ppm), offrant une excellente pureté et stabilité du matériau pour les atmosphères réactives. De plus, le tube est recouvert d'une couche de carbure de silicium CVD (< 5 ppm) pour améliorer la résistance à la corrosion et la protection de surface.

Semicorex fournit un service personnalisé, nous pouvons produire selon les dessins des clients, pour répondre aux exigences des spécifications requises. Les tubes de traitement Semicorex SiC peuvent donc convenir non seulement aux fours horizontaux, mais également aux fours verticaux.