Pommeau de douche SiC

La pomme de douche Semicorex SiC est un composant essentiel du processus de croissance épitaxiale, spécialement conçu pour améliorer l'uniformité et l'efficacité du dépôt de couches minces sur des tranches semi-conductrices. La pomme de douche SiC est fabriquée à partir de carbure de silicium (SiC) en vrac. Connue pour sa conductivité thermique, sa résistance mécanique et sa résistance chimique exceptionnelles, cette pomme de douche SiC assure des performances optimales dans les environnements à haute température et corrosifs typiques des réacteurs épitaxiaux.

La forme de la pomme de douche SiC est méticuleusement conçue pour faciliter la répartition uniforme des gaz précurseurs sur la surface de la plaquette. Sa série de trous percés avec précision permet un flux contrôlé et constant, ce qui est crucial pour obtenir des couches épitaxiales de haute qualité avec une épaisseur et une composition uniformes. Cette conception minimise les réactions en phase gazeuse et la génération de particules, contribuant ainsi à des rendements de tranche et à des performances de dispositif supérieurs.

Idéale pour une utilisation dans les environnements de recherche et de production à grand volume, la pomme de douche SiC se distingue par sa durabilité et sa fiabilité, réduisant considérablement les temps d'arrêt pour maintenance et les coûts d'exploitation. Sa compatibilité avec divers procédés épitaxiaux, notamment le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), en fait un atout polyvalent et inestimable dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs.