Suscepteur de plaquette de silicium monocristallin

Notre suscepteur épitaxial en silicium monocristallin est un produit en graphite recouvert de SiC de haute pureté, qui présente une résistance élevée à la chaleur et à la corrosion. Le support revêtu de carbure de silicium CVD est utilisé dans les processus qui forment la couche épitaxiale sur les plaquettes semi-conductrices. Il a une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, qui sont essentielles pour des processus de fabrication de semi-conducteurs efficaces et précis.
L'une des principales caractéristiques de notre suscepteur de plaquette de silicium monocristallin est son excellente densité. Le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une bonne densité et peuvent jouer un bon rôle de protection dans les environnements de travail à haute température et corrosifs. Le suscepteur revêtu de carbure de silicium utilisé pour la croissance de monocristaux a une planéité de surface très élevée, ce qui est essentiel pour maintenir une production de plaquettes de haute qualité.
Une autre caractéristique importante de notre produit est sa capacité à réduire la différence de coefficient de dilatation thermique entre le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium. Cela améliore efficacement la force de liaison, empêchant la fissuration et le délaminage. De plus, le substrat en graphite et la couche de carbure de silicium ont une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de répartition de la chaleur, garantissant que la chaleur est répartie uniformément pendant le processus de fabrication.
Notre suscepteur de plaquette de silicium monocristallin est également résistant à l'oxydation et à la corrosion à haute température, ce qui en fait un produit fiable et durable. Son point de fusion élevé garantit qu'il peut résister à l'environnement à haute température requis pour une fabrication efficace des semi-conducteurs.
En conclusion, le suscepteur de plaquettes de silicium monocristallin Semicorex est une solution ultra-pure, durable et fiable pour les processus d'épitaxie de graphite et de manipulation de plaquettes. Son excellente densité, sa planéité de surface et sa conductivité thermique le rendent idéal pour une utilisation dans des environnements à haute température et corrosifs. Nous sommes fiers de fournir des produits de haute qualité à des prix compétitifs et sommes impatients de nous associer à vous pour tous vos besoins en supports de plaquettes semi-conductrices.

Paramètres du suscepteur de plaquette de silicium monocristallin

Caractéristiques du suscepteur de plaquette de silicium monocristallin

- Éviter le décollement et assurer le revêtement sur toutes les surfaces
Résistance à l'oxydation à haute température : Stable à haute température jusqu'à 1600°C
Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur CVD dans des conditions de chloration à haute température.
Résistance à la corrosion : dureté élevée, surface dense et particules fines.
Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
- Obtenez le meilleur schéma d'écoulement de gaz laminaire
- Garantir l'uniformité du profil thermique
- Empêcher toute contamination ou diffusion d'impuretés