Récepteur Epi de silicium monocristallin

Le suscepteur épi de silicium monocristallin est un composant essentiel conçu pour les processus d'épitaxie Si-GaN, qui peut être adapté aux spécifications et préférences individualisées, offrant ainsi une solution sur mesure qui s'aligne parfaitement avec des exigences spécifiques. Qu'il s'agisse de modifications de dimensions ou d'ajustements d'épaisseur de revêtement, nous possédons la capacité de concevoir et de fournir un produit qui s'adapte à divers paramètres de processus, optimisant ainsi les performances pour les applications ciblées. L'engagement de Semicorex en faveur d'une qualité de pointe sur le marché, allié à des considérations fiscales compétitives, cimente notre désir d'établir des partenariats pour répondre à vos exigences en matière de transport de plaquettes semi-conductrices.

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Description du produit

Les suscepteurs utilisés dans le traitement de croissance épitaxiale nécessitent la capacité de résister à des températures élevées et de supporter des procédures de nettoyage chimique rigoureuses. Le suscepteur épi de silicium monocristallin a été méticuleusement conçu pour répondre spécifiquement aux exigences rigoureuses rencontrées dans les applications d'équipement d'épitaxie.

Ces suscepteurs sont dotés d'une construction comprenant du graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) de haute pureté, qui confère une résistance inégalée à la chaleur, garantissant une distribution thermique uniforme pour une épaisseur et une résistance de couche d'épitaxie constantes.

De plus, le suscepteur Epi en silicium monocristallin présente une durabilité remarquable contre les agents de nettoyage chimiques agressifs. L'utilisation d'un fin revêtement cristallin de SiC contribue en outre à une surface impeccable et lisse, ce qui est d'une importance capitale pour une manipulation efficace, car les tranches non souillées entrent en contact avec le suscepteur sur de nombreux points sur toute leur surface.

L'utilisation du suscepteur Epi en silicium monocristallin garantit une fiabilité inébranlable et une durée de vie prolongée, atténuant ainsi le besoin de remplacements fréquents et minimisant par la suite les temps d'arrêt et les dépenses de maintenance. Sa construction robuste et ses capacités opérationnelles exceptionnelles contribuent de manière significative à une efficacité accrue des processus, renforçant ainsi la productivité et la rentabilité dans le domaine des opérations de fabrication de semi-conducteurs.